[实用新型]一种半导体废气处理装置

权利要求书

1.一种半导体废气处理装置，包括废气进气管路，其特征在于，所述处理装置还包括依次连接的反应腔、用于对反应腔排出的气体进行除尘降温的除尘降温机构、用于收集除尘降温机构排出水的水箱和用于将流经水箱并排出的废气进行喷淋二次处理的酸排筒，所述反应腔的进气口通过气体放大器与废气进气管路连接。

2.根据权利要求1所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括设于反应腔进气口的压力传感器和向气体放大器的输入端输送惰性气体的输气管路。

3.根据权利要求2所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述废气进气管路包括进气管、设于进气管上的第一开关阀和质量流量控制器，进气管的出气端通过气体放大器与反应腔的进气口连接。

4.根据权利要求3所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括PLC，所述压力传感器、第一开关阀和质量流量控制器均与PLC电连接。

5.根据权利要求4所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括设有显示人机界面的触摸屏，所述触摸屏与PLC电连接。

6.根据权利要求1所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述除尘降温机构包括洗涤塔，洗涤塔内设有第一喷头，通过设置第一喷淋液输送管路与第一喷头连接，所述反应腔的出气口与洗涤塔的进气口连接，所述洗涤塔的出口端与水箱的进口端连接，所述水箱的出口端与酸排筒的进口端连接。

7.根据权利要求1所述半导体废气处理装置，其特征在于，所述酸排筒内设有第二喷头，通过设置第二喷淋液输送管路与第二喷头连接。

8.根据权利要求1所述半导体废气处理装置，其特征在于，通过水泵将水箱内的水排出。