[实用新型]一种半导体晶片探针测试设备

权利要求书

1.一种半导体晶片探针测试设备，包括测试仪(1)和调节装置(5)，其特征在于：所述测试仪(1)的表面固定安装检测台(2)，所述测试仪(1)的表面均匀固定安装有三个显示屏(3)，所述测试仪(1)的表面均匀电性连接有若干个按钮(4)，所述测试仪(1)的表面设有调节装置(5)，所述调节装置(5)包括两个限位框(507)，两个所述限位框(507)均与测试仪(1)的表面固定连接，所述限位框(507)的表面滑动连接有滑架(62)，所述滑架(62)的表面固定连接有支撑架(501)，所述限位框(507)的表面开设有若干个定位孔(508)，滑框(506)的内部滑动连接有限位杆(504)，所述限位杆(504)位于滑框(506)内壁的一端固定连接有定位销(509)，所述定位销(509)的尺寸与定位孔(508)的尺寸相适配。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述限位杆(504)远离定位销(509)的一侧转动连接有拉环(505)，若干个所述定位孔(508)线性排列在限位框(507)的表面。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述限位杆(504)位于限位销和滑框(506)之间的表面套有弹簧(510)，所述弹簧(510)的两端分别与定位销(509)和滑框(506)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述支撑架(501)的端侧固定连接有圆形片(502)，所述圆形片(502)的表面胶接有橡胶块(503)，所述橡胶块(503)呈半球状结构。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述测试仪(1)的表面设有辅助装置(6)，所述辅助装置(6)包括两个导轨架(61)，两个所述导轨架(61)均与测试仪(1)的表面固定连接，两个所述导轨架(61)的表面滑动连接有滑架(62)，所述滑架(62)的内部滑动连接有压杆(65)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述压杆(65)的端侧固定连接有压块(63)，所述压杆(65)远离压块(63)的一端固定连接有圆形块(66)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体晶片探针测试设备，其特征在于：所述压杆(65)的表面套有塔簧(64)，所述弹簧(510)的两端分别与压块(63)和滑架(62)固定连接。