[实用新型]取棒车有效

专利信息
申请号: 202122424454.X 申请日: 2021-10-08
公开(公告)号: CN215971623U 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 张龙飞 申请(专利权)人: 徐州鑫晶半导体科技有限公司
主分类号: B62B3/02 分类号: B62B3/02;B62B3/04
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 李荟萃
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 取棒车
【权利要求书】:

1.一种取棒车,其特征在于,包括:

底座(10);以及

夹紧结构(20),所述夹紧结构(20)设在所述底座(10)上,且所述夹紧结构(20)在竖直平面内可转动地设置;

其中,所述夹紧结构(20)包括固定夹(21)和活动夹(22),所述固定夹(21)和所述活动夹(22)限定出用于放置晶棒的夹持腔(23),所述活动夹(22)相对于所述固定夹(21)可移动地设置,以调节所述夹持腔(23)的大小。

2.根据权利要求1所述的取棒车,其特征在于,所述取棒车还包括:驱动组件(200),所述驱动组件(200)固定在所述固定夹(21)上,所述驱动组件(200)的输出端与所述活动夹(22)连接,以驱动所述活动夹(22)相对于所述固定夹(21)移动。

3.根据权利要求2所述的取棒车,其特征在于,所述驱动组件(200)包括第一驱动机构(30)和第一传动机构(40),所述第一传动机构(40)的输入端与所述第一驱动机构(30)的输出端连接,所述第一传动机构(40)的输出端与所述活动夹(22)连接。

4.根据权利要求3所述的取棒车,其特征在于,所述第一驱动机构(30)为驱动电机,所述第一传动机构(40)为滚珠丝杠,所述滚珠丝杠包括螺杆(41)和滑块(42),所述螺杆(41)可转动地设置在所述固定夹(21)上,所述滑块(42)固定在所述活动夹(22)上,所述滑块(42)设置在所述螺杆(41)的外周并与所述螺杆(41)螺纹配合,所述驱动电机与所述螺杆(41)驱动连接,以将所述螺杆(41)和所述滑块(42)之间的旋转运动转化为所述滑块(42)的直线运动。

5.根据权利要求4所述的取棒车,其特征在于,

所述夹紧结构(20)还包括第一卡块(25),所述第一卡块(25)设置在所述活动夹(22)上,所述滑块(42)上设有卡槽,所述第一卡块(25)卡设在所述卡槽内;或者,

所述夹紧结构(20)还包括第一卡块(25),所述第一卡块(25)设置在所述活动夹(22)上,所述滑块(42)限定出卡槽和螺纹孔,所述螺纹孔与所述卡槽连通,至少部分所述第一卡块(25)位于所述卡槽内,所述取棒车还包括压紧件(60),所述压紧件(60)穿设在所述螺纹孔内并与所述螺纹孔螺纹配合,所述压紧件(60)的一端伸入所述卡槽内并与所述第一卡块(25)的外壁面抵接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的取棒车,其特征在于,所述取棒车还包括第一导向结构(50),所述第一导向结构(50)用于对所述活动夹(22)相对于所述固定夹(21)的移动进行导向。

7.根据权利要求6所述的取棒车,其特征在于,所述第一导向结构(50)包括固定部(51)和活动部(52),所述固定部(51)设置在所述固定夹(21)上,所述活动部(52)设置在所述活动夹(22)上,且所述固定部(51)与所述活动部(52)滑动配合。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的取棒车,其特征在于,所述固定夹(21)包括:

限位部(27),沿竖直方向延伸;

支撑部(28),可拆卸地安装在所述限位部(27)的底部,所述支撑部(28)上设有用于避让所述晶棒的端部的长条孔(281)。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的取棒车,其特征在于,所述取棒车还包括设置在所述活动夹(22)上的第一衬板(70),所述第一衬板(70)位于所述活动夹(22)的朝向所述夹持腔(23)的一侧,在所述第一衬板(70)的宽度方向上,所述第一衬板(70)的至少一侧凸出于所述活动夹(22)。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的取棒车,其特征在于,所述取棒车还包括第二驱动机构(80)和第二传动机构,所述第二驱动机构(80)和所述第二传动机构均固定在所述底座(10)上,所述第二驱动机构(80)的输出端与所述第二传动机构的输入端连接,所述第二传动机构的输出端与所述夹紧结构(20)驱动连接,以驱动所述夹紧结构(20)相对于所述底座(10)上下移动。

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