[实用新型]一种镀膜机的蒸发源盖板有效
| 申请号： | 202122426692.4 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN216192660U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 殷方军;崔庆尚;苏建;于传帅;司劲男 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250101 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 蒸发 盖板 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。
2.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，承载件一侧设置有弧形开口，弧形开口与衬套开口重合。
3.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，衬套内侧为倒圆锥型，外侧为圆柱型。
4.如权利要求3所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，衬套上边缘设置有凸沿。
5.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，承载件一侧设置有连接杆，连接杆通过固定件连接有轴。
6.如权利要求5所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，固定件包括2个固定块，2个固定块一侧均设置有半圆弧形开口。
7.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，矩形槽内环绕设置有台阶。
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