[实用新型]一种镀膜机的蒸发源盖板

说明书

本实用新型涉及一种镀膜机的蒸发源盖板，属于镀膜机技术领域。盖板包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。本实用新型结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机的蒸发源盖板，属于镀膜机技术领域。

背景技术

光学镀膜技术从问世以来得到快速的发展，镀膜的方式更加多样化，从成膜形态来说可以分为液体镀膜和气体镀膜两种。气体镀膜分为PVD和CVD两种，PVD一般又分为蒸发、溅射、离子镀等。电子束蒸发属于蒸发的一种，其具有成膜速率快，蒸镀灵活，成本相对较低等优点，在镀膜行业中被广泛的应用到各种领域，如光学、电子学、半导体、汽车、手机和工艺品等领域。

电子束镀膜机的蒸发源上方一般都会装有盖板，主要作用是为了防止膜料被污染。为了满足蒸镀多种膜料的使用要求，坩埚台常被设计成多点位式结构。常规的盖板在镀膜过程中存在以下问题：1、盖板与坩埚之间的间隙太小，有些膜料蒸镀时发生形变凸起，造成坩埚台旋转时被卡住；盖板与坩埚台的间隙太大，镀膜时相邻坩埚点位中的膜料会相互污染。2、盖板是一个整体结构，上面有一个便于蒸发膜料的倒锥型口。随着打磨次数增加，倒锥型口的尺寸会逐渐增大，最终将无法完全遮挡蒸镀时的坩埚点位，导致污染相邻点位的膜料，需要定期整体更换盖板。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种镀膜机的蒸发源盖板，结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。

本实用新型的技术方案如下：

一种镀膜机的蒸发源盖板，包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。

优选的，承载件一侧设置有弧形开口，弧形开口与衬套开口重合。

优选的，衬套内侧为倒圆锥型，外侧为圆柱型。

进一步优选的，衬套上边缘设置有凸沿，方便安装在承载件上。

优选的，承载件一侧设置有连接杆，连接杆通过固定件连接有轴。

进一步优选的，固定件包括2个固定块，2个固定块一侧均设置有半圆弧形开口，2个固定块螺栓连接，通过2个半圆弧形开口闭合来夹紧轴。

优选的，矩形槽内环绕设置有台阶，方便承载安装承载件。

上述镀膜机的蒸发源盖板的使用方法，操作步骤如下：

(1)将轴安装在镀膜机的气缸上，通过气缸的运动调整轴的升降高度，转动坩埚前，升高轴，从而抬高衬套；

(2)清理坩埚，并添加磨料；

(3)降低轴的高度，使衬套落在坩埚台的坩埚点位上，进行镀膜。

本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型提供一种镀膜机的蒸发源盖板，结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。

2、本实用新型蒸发源处的衬套磨损严重时，只需要更换衬套即可，无需更换整个盖板，成本大幅度降低。

附图说明

图1本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的平板结构示意图。

图3为本实用新型的承载件结构示意图。

图4为本实用新型的衬套结构示意图。

图5为本实用新型的连接杆结构示意图。

图6为本实用新型的固定件结构示意图。