[实用新型]一种晶圆加工复合机器人

权利要求书

1.一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体(1)，其特征在于：所述机器人主体(1)的上端外表面设置有平衡环(15)，所述平衡环(15)的内壁设置有二号调节电机(14)，所述二号调节电机(14)的上端外表面设置有旋转辅助轴(12)，所述旋转辅助轴(12)与二号调节电机(14)之间设置有固定螺栓(13)，所述旋转辅助轴(12)的下端外表面设置有活动气缸(11)，所述活动气缸(11)的外壁设置有辅助套盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工复合机器人，其特征在于：所述活动气缸(11)与机器人主体(1)之间设置有卡槽，所述二号调节电机(14)的下端外表面通过卡槽与机器人主体(1)的上端外表面可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工复合机器人，其特征在于：所述活动气缸(11)与旋转辅助轴(12)之间设置有对接件，所述活动气缸(11)的上端外表面通过对接件与旋转辅助轴(12)的下端外表面可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工复合机器人，其特征在于：所述辅助套盘(10)的内壁对称设置有四组硅胶管(2)，每组所述硅胶管(2)均位于辅助套管(3)的内壁，所述辅助套管(3)的下端外表面设置有锥形吸盘(4)，所述机器人主体(1)的一侧内表面设置有控制柜(16)，所述机器人主体(1)的下端内表面设置有一号调节电机(8)，所述一号调节电机(8)的上端外表面设置有调节套管(9)，所述调节套管(9)的上端外表面设置有U型放料架(5)，所述U型放料架(5)的两侧外表面对称设置有两组辅助架杆(6)，所述机器人主体(1)的两侧内表面对称设置有两组活动滑槽(7)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工复合机器人，其特征在于：所述辅助架杆(6)与U型放料架(5)之间设置有固定螺丝，所述辅助架杆(6)的一侧外表面通过固定螺丝与U型放料架(5)的一侧外表面可拆卸连接。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆加工复合机器人，其特征在于：所述辅助套管(3)与活动气缸(11)之间设置有连接螺纹，所述辅助套管(3)的外壁通过连接螺纹与活动气缸(11)的内壁可拆卸连接。