[实用新型]一种晶圆加工复合机器人

说明书

本实用新型公开了一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体，所述机器人主体的上端外表面设置有平衡环，所述平衡环的内壁设置有二号调节电机，所述二号调节电机的上端外表面设置有旋转辅助轴，所述旋转辅助轴与二号调节电机之间设置有固定螺栓，所述旋转辅助轴的下端外表面设置有活动气缸，所述活动气缸的外壁设置有辅助套盘，所述辅助套盘的内壁对称设置有四组硅胶管。本实用新型所述的一种晶圆加工复合机器人，设置的活动气缸，用于各个组件的安装，进而方便吸取晶圆，设置的U型放料架，用于放置待加工的晶圆，旋转辅助轴便于活动气缸的安装与旋转，辅助架杆可以保持U型放料架上下调节的平衡性，带来很好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及加工机器人技术领域，具体为一种晶圆加工复合机器人。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在制作过程中需要用到对应的设备进行复合。

现有的晶圆设备在安装使用时，不便于取料放料，大都为人工操作，并且复合效率较低，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为了解决现有技术的不足，我们提出一种晶圆加工复合机器人。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆加工复合机器人，具备便于组装、取料方便以及复合效率高等优点，可以有效解决背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体，所述机器人主体的上端外表面设置有平衡环，所述平衡环的内壁设置有二号调节电机，所述二号调节电机的上端外表面设置有旋转辅助轴，所述旋转辅助轴与二号调节电机之间设置有固定螺栓，所述旋转辅助轴的下端外表面设置有活动气缸，所述活动气缸的外壁设置有辅助套盘。

优选的，所述活动气缸与机器人主体之间设置有卡槽，所述二号调节电机的下端外表面通过卡槽与机器人主体的上端外表面可拆卸连接。

优选的，所述活动气缸与旋转辅助轴之间设置有对接件，所述活动气缸的上端外表面通过对接件与旋转辅助轴的下端外表面可拆卸连接。

优选的，所述辅助套盘的内壁对称设置有四组硅胶管，每组所述硅胶管均位于辅助套管的内壁，所述辅助套管的下端外表面设置有锥形吸盘，所述机器人主体的一侧内表面设置有控制柜，所述机器人主体的下端内表面设置有一号调节电机，所述一号调节电机的上端外表面设置有调节套管，所述调节套管的上端外表面设置有U型放料架，所述U型放料架的两侧外表面对称设置有两组辅助架杆，所述机器人主体的两侧内表面对称设置有两组活动滑槽。

优选的，所述辅助架杆与U型放料架之间设置有固定螺丝，所述辅助架杆的一侧外表面通过固定螺丝与U型放料架的一侧外表面可拆卸连接。

优选的，所述辅助套管与活动气缸之间设置有连接螺纹，所述辅助套管的外壁通过连接螺纹与活动气缸的内壁可拆卸连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆加工复合机器人，具备以下有益效果：

1、该一种晶圆加工复合机器人，通过设置的活动气缸，用于各个组件的安装，进而方便吸取晶圆，为了便于对圆盘进行复合，这里利用二号调节电机带动旋转辅助轴旋转，旋转辅助轴带动活动气缸机器人主体二号调节电机的转子为定轴进行旋转，来间接将晶圆放置到对应的位置上面进行复合，平衡环可以避免二号调节电机在运转时候晃动。