[实用新型]一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达有效
| 申请号： | 202122471541.0 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN216646798U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李闯;向小健;胡恒谦;柏帆;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 连续 驱动 装置 mems 扫描 激光雷达 | ||
1.一种连续驱动装置，其特征在于，包括基底、驱动组件及滑动基座；
所述驱动组件设置于所述基底的第一表面下方，所述驱动组件与所述滑动基座绝缘设置；
所述驱动组件包括多列交替间隔设置的驱动单元；
所述滑动基座能够被所述驱动组件所驱动并滑动至所述驱动组件的不同位置。
2.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动组件包括两列交替步进设置的所述驱动单元。
3.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述滑动基座在移动方向上的长度大于至少两个驱动单元的长度。
4.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述滑动基座的宽度大于至少两个驱动单元的宽度。
5.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动组件还包括驱动电源，所述驱动单元为驱动电极；
所述驱动电源在不同的驱动电极之间施加电压。
6.如权利要求5所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动电极为方形电极、圆形电极、三角形电极、“T”形电极、梯形电极或异形电极中至少一种。
7.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动组件与所述滑动基座之间还包括绝缘层；
所述滑动基座在所述绝缘层的上表面滑动。
8.如权利要求7所述的连续驱动装置，其特征在于，所述滑动基座与所述绝缘层之间超滑接触。
9.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动组件的上表面低于所述基底的上表面；
所述滑动基座与所述基底接触设置，且与所述驱动组件非接触设置。
10.一种MEMS扫描镜，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的连续驱动装置。
11.一种激光雷达，其特征在于，包括如权利要求10中所述的MEMS扫描镜。
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