[实用新型]一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达

说明书

本实用新型公开了一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达，包括基底、驱动组件及滑动基座；所述驱动组件设置于所述基底的第一表面下方，所述驱动组件与所述滑动基座绝缘设置；所述驱动组件包括多列交替间隔设置的驱动单元；所述滑动基座能够被所述驱动组件所驱动并滑动至所述驱动组件的不同位置。本实用新型通过交错的驱动单元逐级驱使所述滑动基座在驱动组件上滑动，实现了所述滑动基座的多级稳定驱动，同时，由于本实用新型提供的方案中不包括机械传动装置，所述滑动基座的使用寿命长，可靠性高。

技术领域

本实用新型涉及扫描隧道领域，特别是涉及一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达。

背景技术

激光雷达是通过发射激光信号对周围空间进行扫描并获取空间参数的设备，广泛应用于地理测绘、环境探测、工业扫描或无人驾驶等行业。目前，激光雷达的光束扫描方式主要是电机扫描式，但扫描电机存在尺寸大、功耗大、控制电路及算法复杂等明显缺陷，限制了激光雷达朝着小型化、集成化及低功耗化等方向发展的速度，也制约了激光雷达的进一步的推广应用。

微电机系统(Micro、Electro Mechanical System，以下简称MEMS)微镜基于成熟的半导体加工工艺，可实现小型化和集成化的光束扫描方式，且具有低功耗和控制简单的显著优势。

MEMS扫描镜主要依靠微驱动器来推动可活动镜面产生转动或平动，从而改变入射光的传播方向，目前常规的MEMS扫描镜的驱动主要是利用扭臂自身的挠度实现旋转，使用寿命短。

因此，如何找到一种简单、寿命长的驱动微镜平面做多级运动的方法，是现有技术中亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达，以解决现有技术中驱动微镜平面做多级运动的结构复杂，寿命短的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种连续驱动装置，包括基底、驱动组件及滑动基座；

所述驱动组件设置于所述基底的第一表面下方，所述驱动组件与所述滑动基座绝缘设置；

所述驱动组件包括多列交替间隔设置的驱动单元；

所述滑动基座能够被所述驱动组件所驱动并滑动至所述驱动组件的不同位置。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述驱动组件包括两列交替步进设置的所述驱动单元。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述滑动基座在移动方向上的长度大于至少两个驱动单元的长度。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述滑动基座的宽度大于至少两个驱动单元的宽度。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述驱动组件还包括驱动电源，所述驱动单元为驱动电极；

所述驱动电源在不同的驱动电极之间施加电压。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述驱动电极为方形电极、圆形电极、三角形电极、“T”形电极、梯形电极或异形电极中至少一种。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述驱动组件与所述滑动基座之间还包括绝缘层；

所述滑动基座在所述绝缘层的上表面滑动。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述滑动基座与所述绝缘层之间超滑接触。

可选地，在所述的连续驱动装置中，所述驱动组件的上表面低于所述基底的上表面；

所述滑动基座与所述基底接触设置，且与所述驱动组件非接触设置。

一种MEMS扫描镜，包括如上述任一种所述的连续驱动装置。

一种激光雷达，包括如上述所述的MEMS扫描镜。