[实用新型]一种多段加热单端元件底座结构

说明书

本实用新型公开了一种多段加热单端元件底座结构，包括底座，所述底座侧面圆周开设有外圆槽口并有三个，所述底座一侧开设有限位沉孔，所述限位沉孔底部设置有限位底面，所述限位底面开设有贯穿的穿线孔。本实用新型氧化镁制底座安装方便，提高成品合格率，保证每段镁杆都在不锈钢内中心，绝缘层厚度均匀。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备加热元件材料技术领域，尤其涉及一种多段加热单端元件底座结构。

背景技术

在泛半导体设备加热元件加工及生产过程中，需要3米长度以上单头出线的加热元件，并且需要加热元件对半导体晶片在真空中加热至工艺温度才能有效镀膜。以往3米长度以上单头出线的加热元件在真空中加热，工艺温度高(850℃以上)，容易出现热态绝缘性能以及耐压不良现象。导致3米长度以上单头出线的加热元件使用寿命短，并且有不符合安规现象。并且3米长度以上单头出线的加热元件在加工过程中，由于加热元件长，缠绕电阻丝的镁杆仅能加工长度为500以内，所以需要多段拼接，以往多段拼接采用氧化镁制三角架。

常规氧化镁制三角架多用于单根的镁杆加工，对于多段拼接的镁杆不能起限位以及保证绝缘层厚度均匀，并且会松脱。3米长度以上单头出线的加热元件采用氧化镁制三角架加工，将导致生产过程中非常高的一次不合格率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多段加热单端元件底座结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种多段加热单端元件底座结构，包括底座，所述底座侧面圆周开设有外圆槽口并有三个，所述底座一侧开设有限位沉孔，所述限位沉孔底部设置有限位底面，所述限位底面开设有贯穿的穿线孔。

作为本实用新型的进一步方案，三个所述外圆槽口均匀分布于底座侧面。

作为本实用新型的进一步方案，所述穿线孔有两个并均匀分布于限位底面上。

本实用新型的有益效果：

1)本实用新型，氧化镁制底座安装方便，提高成品合格率；

2)保证每段镁杆都在不锈钢内中心，绝缘层厚度均匀；

3)限位底面可保证底座不会在不锈钢内移动，保证每段镁杆不会偏移不锈钢内中心，绝缘层厚度均匀；

4)分段式外圆的氧化镁制的结构，保证加工过程中能填充镁粉；

5)可用于850℃以上真空环境温度；

6)穿线孔可保证2根引线不会短路。

附图说明

图1是根据本实用新型的一种多段加热单端元件底座结构的主视截面图；

图2是根据本实用新型的一种多段加热单端元件底座结构的侧视截面图。

图中：1、外圆槽口、2、穿线孔3、限位底面、4、限位沉孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种多段加热单端元件底座结构，包括底座，所述底座侧面圆周开设有外圆槽口1并有三个，所述底座一侧开设有限位沉孔4，所述限位沉孔4底部设置有限位底面3，所述限位底面3开设有贯穿的穿线孔2。

本实用新型，三个所述外圆槽口1均匀分布于底座侧面。

本实用新型，所述穿线孔2有两个并均匀分布于限位底面3上。