[实用新型]一种堆叠式器件有效
申请号: | 202122482597.6 | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN216288439U | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 侯彬;谢永宜 | 申请(专利权)人: | 西安紫光国芯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
地址: | 710000 陕西省西安市西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 堆叠 器件 | ||
本申请涉及集成电路技术领域,公开了一种堆叠式器件。该堆叠式器件包括:第一晶圆,第一晶圆包括第一电路;第二晶圆,第二晶圆包括第二电路;第一电路包括处理器、计时器、总线、加/解密电路、存储访问控制器和模拟控制器中至少一种;或,第一电路包括可配置逻辑电路、专用SRAM存储器、用户配置逻辑电路、编码器、解码器和Digital IP中的至少一种;其中,第一晶圆和第二晶圆层叠连接设置,组成堆叠式器件。通过上述方式,能够提升制作堆叠式器件的产品良率,降低对堆叠式器件的最大曝光面积的要求,且单个堆叠式器件的晶圆的成本降低,进而降低堆叠式器件的开发成本,缩短开发周期。
技术领域
本申请涉及集成电路技术领域,特别是涉及一种堆叠式器件。
背景技术
随着半导体技术朝着深亚微米乃至纳米方向的飞速发展,IC设计者将越来越多且功能复杂的系统集成在单颗芯片上,以实现尺寸更小、带宽更高、功能更加强大的电子系统。
如,微控制单元本身作为一种通用芯片,因应用场景需求不同,则需要不同控制功能版本的芯片,以达到降低系统成本的目的;高效且可靠的微控制单元芯片实现方法,成为IC设计者关注的焦点。
实用新型内容
本申请主要解决的技术问题是提供一种堆叠式器件,能够提升制作堆叠式器件的产品良率,降低对堆叠式器件的最大曝光面积的要求,且单个堆叠式器件的晶圆的成本降低,进而降低堆叠式器件的开发成本,缩短开发周期。
为了解决上述问题,本申请采用的一种技术方案是提供一种堆叠式器件,该堆叠式器件包括:第一晶圆,第一晶圆包括第一电路;第二晶圆,第二晶圆包括第二电路;第一电路包括处理器、计时器、总线、加/解密电路、存储访问控制器和模拟控制器中至少一种;或,第一电路包括可配置逻辑电路、专用SRAM存储器、用户配置逻辑电路、编码器、解码器和Digital IP中的至少一种;其中,第一晶圆和第二晶圆层叠连接设置,组成堆叠式器件。
其中,第一晶圆和第二晶圆通过三维异质集成的方式层叠键合连接。
其中,第一晶圆和第二晶圆通过2.5D的方式层叠设置。
其中,第一晶圆以及第二晶圆至少为二;第一晶圆与第二晶圆层叠间隔设置,且互相连接;或者,至少两个第一晶圆层叠设置,至少两个第二晶圆层叠设置,层叠设置的至少两个第一晶圆与层叠设置的至少两个第二晶圆层叠。
其中,第二晶圆还包括自供电电路,第一电路以及第二电路与自供电电路连接,以通过自供电电路为第一电路以及第二电路供电。
其中,第一晶圆远离第二晶圆的一侧还包括焊盘,焊盘用于连接外部器件,外部器件包括但不限于存储器件、电源器件。
其中,堆叠式器件为堆叠式MCU或堆叠式FPGA。
其中,在堆叠式器件为堆叠式MCU时,第二电路包括模数转换电路、锁相环、发生器、传感器、时钟电路、驱动电路、通用输入/输出口、存储器、熔丝和电感线圈中的至少一种。
其中,驱动电路包括LCD驱动单元和/或LED驱动单元。
其中,在堆叠式器件为堆叠式FPGA时,第二电路包括可配置输入输出电路、AnalogIP电路、锁相环、串行电路、解串行电路、通用输入/输出口、存储器、熔丝和电感线圈中的至少一种。
本申请的有益效果是:区别于现有技术的情况,本申请提供的堆叠式器件。通过将堆叠式器件按照分为不同的第一电路和第二电路,进而形成第一晶圆和第二晶圆,相较于传统技术中器件的所有功能电路集成于同一晶圆,采用相同的纳米级别制作工艺而言,整个堆叠式器件由第一晶圆和第二晶圆整合实现,单个晶圆面积较小,能够提升制作堆叠式器件的产品良率,降低对堆叠式器件的晶圆的最大曝光面积的要求,且单个晶圆的成本降低,进而降低器件的开发成本,缩短开发周期。
附图说明
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