[实用新型]晶棒晶向测量的导向支座及定向仪有效
| 申请号： | 202122483213.2 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN216560351U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 万建军;宋亚滨;翟虎;陆继波;赵亨山 | 申请（专利权）人： | 甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 黄志兴;邱成杰 |
| 地址： | 735000 甘肃省酒泉市肃州区*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶棒晶 测量 导向 支座 定向 | ||
1.一种晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，包括导向支架(2)，所述导向支架(2)上设置有用于放置晶棒的安装槽，所述安装槽上附着有限制所述晶棒滑动的限位层(3)。
2.根据权利要求1所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述安装槽的横截面呈圆弧形。
3.根据权利要求1所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述限位层(3)为垫条，所述垫条附着在所述安装槽上，且所述垫条的两端与所述安装槽的两端分别可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述垫条的一端与所述安装槽的一端螺纹连接，所述垫条的另一端与所述安装槽的另一端螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述导向支架(2)的底部设有底座(1)。
6.根据权利要求5所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述底座(1)的底部设置有沿其长度方向布置的通道。
7.根据权利要求6所述的晶棒晶向测量的导向支座，其特征在于，所述通道的横截面呈U形。
8.一种定向仪，其特征在于，设置有根据权利要求1至7中任一项所述的晶棒晶向测量的导向支座。
9.根据权利要求8所述的定向仪，其特征在于，所述安装槽的中心轴与定向仪工件平台中心齐平。
10.根据权利要求8所述的定向仪，其特征在于，还包括与所述晶棒的设定晶面相抵的顶针和用于调整所述晶棒晶向测量的导向支座角度位置的微调器。
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