[实用新型]晶棒晶向测量的导向支座及定向仪

说明书

本实用新型涉及晶棒晶向测量仪器，公开了一种晶棒晶向测量的导向支座及定向仪，该晶棒晶向测量的导向支座包括导向支架，所述导向支架上设置有用于放置晶棒的安装槽，所述安装槽上附着有限制所述晶棒移动的限位层。本实用新型的晶棒晶向测量的导向支座有效限制晶棒在晶向测量过程中的滑动，可提高检测结果的准确性，省时省力，能够有效提高检测效率。

技术领域

本实用新型涉及晶棒晶向测量仪器，具体地，涉及一种晶棒晶向测量的导向支座。此外，还涉及一种具体有上述晶棒晶向测量的导向支座的定向仪。

背景技术

各种人工晶体需要在一定的晶向角加工成薄片，众所周知，其硬度高，造成加工费时费力，相对来说原材料价格也高。因此，需要在加工前测量晶体晶向偏差或待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，并且进行晶棒粘接时，晶棒柱面参考边或刻痕需指向指定角度；上述过程中，晶棒角度检测尤为重要，一旦发生偏差，不仅影响粘接精度，也严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品不合格率较高；为此，晶棒柱面加工前，需要对其进行定向，以求定向准确，减少原材料的浪费。

蓝宝石晶体的学名为α-Al₂O₃晶体，六方晶格结构，由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成。蓝宝石晶体具有各向异性的特点，在不同的方向上物理性质不同。蓝宝石由于其稳定性高，具有超强硬的机械特性，且能够透过蓝宝石晶体的波段范围非常广，因而蓝宝石晶体被广泛应用于衬底材料、消费电子、军工等领域。晶棒是由蓝宝石晶体加工而成，各种用蓝宝石晶体制作的产品，在成为成品之前都要经历晶棒这一阶段。而在蓝宝石晶棒切片之前，必须测试出蓝宝石晶棒的需要晶面的晶向，如M面。晶棒的晶面需要完全贴合在定向仪的测量垂直平面上。一般地，定向仪的支座底部平台长度为75cm，而蓝宝石晶棒的长度往往在30～300cm之间，密度一般在3.95-4.1g/cm³，相对较沉。在现有的蓝宝石晶棒的测量过程中只能依托垫块，单手扶撑对其进行固定。然而，在测晶向的过程中，为得到4个方向的角度，还需转动晶棒，操作费力且不方便，且容易造成晶棒崩边。考虑到蓝宝石价格较为昂贵，如果蓝宝石晶棒晶向测量不准确，则会导致晶棒切出的晶片WARP(翘曲度)偏大，则此晶棒的所有晶片都会影响到后续加工，甚至报废，造成严重损失。

因此，需要设计一种新型的晶棒晶向测量的导向支座。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶棒晶向测量的导向支座，该晶棒晶向测量的导向支座有效限制晶棒在晶向测量过程中的滑动，可提高检测结果的准确性，省时省力，能够有效提高检测效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型第一方面提供一种晶棒晶向测量的导向支座，包括导向支架，所述导向支架上设置有用于放置晶棒的安装槽，所述安装槽上附着有限制所述晶棒滑动的限位层。

可选地，所述安装槽的横截面呈圆弧形。

具体地，所述限位层为垫条，所述垫条附着在所述安装槽上，且所述垫条的两端与所述安装槽的两端分别可拆卸连接。

进一步地，所述垫条的两端与所述安装槽的两端分别螺纹连接。

可选地，所述导向支架的底部设有底座。

进一步地，所述底座的底部设置有沿其长度方向布置的通道。

具体地，所述通道的横截面呈U形。

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种定向仪，该定向仪有效提高检测结果的准确性，省时省力，能够有效提高检测效率。

本实用新型第二方面提供一种定向仪，设置有上述技术方案中任一项所述的晶棒晶向测量的导向支座。

可选地，所述安装槽的中心轴与定向仪工件平台中心吸气口齐平。