[实用新型]一种多工位晶圆夹取传片装置

权利要求书

1.一种多工位晶圆夹取传片装置，其特征在于：包含有：

传片主轴，传片主轴由驱动机构驱动旋转；

夹取机构，多个夹取机构均匀围绕安装于传片主轴上，且每个夹取机构上均安装有至少一组夹具。

2.根据权利要求1所述一种多工位晶圆夹取传片装置，其特征在于：相邻两个夹取机构之间为一工艺单元，该工艺单元上设置有顶升装置。

3.根据权利要求1所述一种多工位晶圆夹取传片装置，其特征在于：所述驱动机构包含有驱动电机、减速器和联轴器，所述驱动电机和减速器构成的电机减速箱总成的输出轴经联轴器驱动传片主轴旋转。

4.根据权利要求3所述一种多工位晶圆夹取传片装置，其特征在于：所述夹取机构包含有旋转手臂，所述旋转手臂上连接有多个外伸臂，每个外伸臂的底部安装有至少一个托架，每个托架的底部至少安装有一个夹具。

5.根据权利要求3所述一种多工位晶圆夹取传片装置，其特征在于：上述传片主轴上插装于轴承的内圈中，该轴承的外圈安放在轴承座内；上述减速器安装在轴承座上，传片感应片安装在传片主轴上，光电开关座安装在轴承座上，且光电开关座上安装有光电开关。