[实用新型]一种用于沉浸式光刻机的防微振基座

权利要求书

1.一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，包括主体单元基座、晶圆处理单元基座、总成单元基座和组件单元基座，其特征在于，所述主体单元基座包括主体单元基座顶板、主体单元基座防震脚配件、主体单元基座不锈钢配件、主体单元基座C型钢和主体单元基座支撑架，所述晶圆处理单元基座包括晶圆处理单元基座顶板、晶圆处理单元基座防震脚配件、晶圆处理单元基座C型钢和晶圆处理单元基座支撑架，所述总成单元基座包括总成单元基座顶板、总成单元基座不锈钢配件、总成单元基座C型钢和总成单元基座支撑架，所述组件单元基座包括组件单元基座顶板、组件单元基座不锈钢配件、组件单元基座C型钢和组件单元基座支撑架。

2.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述主体单元基座顶板上表面一侧设有两个主体单元基座防震脚配件，所述主体单元基座顶板上表面另一侧设有两个主体单元基座不锈钢配件；所述主体单元基座顶板由不锈钢板焊接成矩形框架，所述矩形框架内浇筑有混凝土，所述主体单元基座顶板表面涂有环氧漆；所述主体单元基座C型钢焊接在主体单元基座顶板四周外侧；所述主体单元基座支撑架由不锈钢板焊接成矩形框架，所述矩形框架内浇筑有混凝土。

3.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述晶圆处理单元基座顶板上表面两侧分别设有一个对称的晶圆处理单元基座不锈钢配件；所述晶圆处理单元基座顶板由不锈钢板焊接成矩形框架，所述矩形框架内浇筑有混凝土，所述晶圆处理单元基座顶板表面涂有环氧漆；所述晶圆处理单元基座C型钢焊接在晶圆处理单元基座顶板四周外侧；所述晶圆处理单元基座支撑架由不锈钢焊接而成矩形结构。

4.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述总成单元基座顶板上表面一侧并列设有两个总成单元基座不锈钢配件；所述总成单元基座顶板由不锈钢板焊接成矩形框架，所述矩形框架内浇筑有混凝土，所述总成单元基座顶板表面涂有环氧漆；所述总成单元基座C型钢焊接在总成单元基座顶板四周外侧；所述总成单元基座支撑架由不锈钢焊接而成矩形结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述组件单元基座顶板上表面一侧并列设有两个组件单元基座不锈钢配件；所述组件单元基座顶板由不锈钢板焊接成矩形框架，所述矩形框架内浇筑有混凝土，所述组件单元基座顶板表面涂有环氧漆；所述组件单元基座C型钢焊接在组件单元基座顶板四周外侧；所述组件单元基座支撑架由不锈钢焊接而成矩形结构。

6.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述主体单元基座顶板与总成单元基座顶板、组件单元基座顶板之间连接有第一不锈钢地板、第二不锈钢地板和第三不锈钢地板。

7.根据权利要求1所述的一种用于沉浸式光刻机的防微振基座，其特征在于，所述总成单元基座顶板与组件单元基座顶板之间连接有第四不锈钢地板、第五不锈钢地板。