[实用新型]一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机

权利要求书

1.一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)沿其宽度方向依次设置有上料槽(2)、超声波清洗槽(3)和下料浸泡槽(4)，所述机架(1)沿其宽度方向滑动设置有用于取放碳化硅晶圆贴片的机械手(5)且机械手(5)位于上料槽(2)的上方，所述上料槽(2)和下料浸泡槽(4)上均设置有用于与设置在机架(1)上的排水管道(6)连通的排水口和用于与设置在机架(1)上的高位预热水箱(7)连通的第一进水口，所述超声波清洗槽(3)上设置有用于与高位预热水箱(7)连通的第二进水口、用于与设置在机架(1)上的药剂管道(10)连通的药剂口和用于与设置在机架(1)上的循环组件连通的抽液口、排液口。

2.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述循环组件包括设置在机架(1)上且连通的水泵(8)、储液箱和过滤器(9)，每个所述抽液口均通过第一管道与水泵(8)连通，每个所述排液口均通过第二管道与过滤器(9)连通且第二管道上设置有排水阀。

3.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述高位预热水箱(7)内设置有投入式加热管、液位显示器和温度检测器，每个所述第一进水口均通过第三管道与高位预热水箱(7)连通且第三管道上设置有第一电磁阀，所述第二进水口通过第四管道与高位预热水箱(7)连通且第四管道上设置有第二电磁阀。

4.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：还包括抛动组件，所述抛动组件包括设置在机架(1)上的电机(11)和滑动设置在超声波清洗槽(3)内并用于放置的摆动托架(12)，所述电机(11)的伸缩杆穿至超声波清洗槽(3)内与摆动托架(12)连接并能带动其上下滑动。

5.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：还包括用于放置碳化硅晶圆贴片的清洗篮(13)，所述清洗篮(13)能置入上料槽(2)或超声波清洗槽(3)或下料浸泡槽(4)。

6.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述上料槽(2)和下料浸泡槽(4)内均设置有第一电加热棒。

7.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述超声波清洗槽(3)外设置有超声波发生器(14)，所述超声波清洗槽(3)内设置有第二电加热棒(15)、与超声波发生器(14)连接的超声波换能器和与超声波换能器连接的超声波震板(16)。

8.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述超声波清洗槽(3)上还设置有溢流口和光电式液位感应器，所述溢流口和光电式液位感应器均位于抽液口的上方。

9.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述超声波清洗槽(3)有多个，多个所述超声波清洗槽(3)均位于上料槽(2)和下料浸泡槽(4)之间。

10.根据权利要求1所述一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，其特征在于：所述机架(1)沿其宽度方向滑动设置有直线模组，所述机械手(5)设置在直线模组的滑块上。