[实用新型]探针台

权利要求书

1.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括置物平台、带动探针移动以对放置于所述置物平台上的物品进行测试的两个探针夹具、安放所述探针夹具的探针座平台以及带动所述置物平台和所述探针座平台进行升降动作的升降台，其中：

所述置物平台位于显微物镜的下方，且所述置物平台设置于所述探针座平台的上方，所述探针座平台设置于所述升降台的上方，两个所述探针夹具均设置于所述探针座平台的顶部，且两个所述探针夹具分别位于所述置物平台的两侧，各所述探针夹具夹持所述探针且带动所述探针移动，以使所述探针移动至所述置物平台的上方且对准所述置物平台上的物品；

所述探针与导线的一端连接，所述导线的另一端穿过所述探针夹具并伸出至所述探针夹具的下方。

2.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针座平台与所述升降台之间设置有能带动所述探针座平台和所述置物平台在水平方向上移动的第一二维移动台，所述第一二维移动台的顶部与所述探针座平台的底部连接，所述第一二维移动台的底部与所述升降台的顶部连接。

3.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述置物平台与所述探针座平台之间设置有能带动所述置物平台在水平方向上移动的第二二维移动台，所述第二二维移动台的顶部与所述置物平台的底部连接，所述第二二维移动台的底部与所述探针座平台的顶部连接。

4.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述升降台的下方设置有升降梯，所述升降梯的顶部与所述升降台的底部连接。

5.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针夹具包括磁吸底座、位移滑台和位于所述探针与所述位移滑台之间的探针安装管，所述位移滑台设置于所述磁吸底座的顶部，所述探针安装管设置于所述位移滑台上，所述探针安装管的顶端位于所述位移滑台的上方并固定有所述探针，所述探针安装管的底端穿过所述位移滑台并延伸至所述位移滑台的下方，所述导线设置于所述探针安装管内，所述导线由所述探针安装管的底端伸出至所述探针夹具的下方。

6.如权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述位移滑台包括第一位移滑块、第二位移滑块和第三位移滑块，所述第一位移滑块能沿水平方向移动地设置于所述磁吸底座的顶部，所述第二位移滑块能沿水平方向移动地设置于所述第一位移滑块的顶部，且所述第二位移滑块与所述第一位移滑块在水平方向上的移动方向相垂直，所述第三位移滑块能沿竖直方向移动的设置于所述第二位移滑块的侧壁上，所述探针安装管位于所述第三位移滑块上。

7.如权利要求6所述的探针台，其特征在于，所述磁吸底座的顶部设置沿水平方向设置有第一导轨，所述第一位移滑块与所述第一导轨滑动连接，所述第一位移滑块的顶部沿水平方向设置有第二导轨，所述第二位移滑块与所述第二导轨滑动连接，且所述第一导轨与所述第二导轨在水平方向上相垂直，所述第二位移滑块的侧壁上沿竖直方向设置有第三导轨，所述第三位移滑块与所述第三导轨滑动连接。

8.如权利要求6所述的探针台，其特征在于，所述磁吸底座与所述第一位移滑块之间设置有第一分厘卡；所述第一位移滑块与所述第二位移滑块之间设置有第二分厘卡；所述第二位移滑块与所述第三位移滑块之间设置有第三分厘卡。

9.如权利要求6所述的探针台，其特征在于，所述探针安装管包括沿竖直方向设置的第一管体和沿水平方向设置的第二管体，所述第一管体的顶端与所述第二管体的一端连接，所述探针固定于所述第二管体的另一端，所述第一管体的底端穿过所述第三位移滑块，以使所述导线能够伸出至所述第三位移滑块的下方。

10.如权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述磁吸底座的下方设置有能对所述磁吸底座的磁力进行屏蔽的隔磁板，所述隔磁板的一边角位置与所述磁吸底座的底部铰接，所述隔磁板的边缘且靠近所述隔磁板与所述磁吸底座铰接位置处设置有旋钮。