[实用新型]探针台

说明书

本实用新型为一种探针台，该探针台包括置物平台、带动探针移动以对放置于置物平台上的物品进行测试的两个探针夹具、安放探针夹具的探针座平台以及带动置物平台和探针座平台进行升降动作的升降台，置物平台位于显微物镜的下方，且置物平台设置于探针座平台的上方，探针座平台设置于升降台的上方，两个探针夹具均设置于探针座平台的顶部，且两个探针夹具分别位于置物平台的两侧，各探针夹具夹持探针且带动探针移动，以使探针移动至置物平台的上方且对准置物平台上的物品；探针与导线的一端连接，导线的另一端穿过探针夹具并伸出至探针夹具的下方。本实用新型解决了与探针连接的导线易对探针操作造成干扰、探针夹具使用效果不佳的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及光电流测试技术领域，进一步的，涉及一种探针台，尤其涉及一种适用于显微光路的倒置探针台。

背景技术

随着第三代半导体光电材料（如：二维材料或者晶圆等），以及相机感光面单个像素，研究的蓬勃发展，其材料性能及器件工作机制都与传统半导体材料和器件有很大差异，显微光电流测试系统成为研究材料性能和检测材料光电流强度分布的重要设备，既可以用于测量光电材料的光电响应信号，又可以表征材料的光电性质。

显微光电流测试系统中光源是通过显微镜入射到被测样品上，样品电极需要用微米级电极连接引出电信号，并传导到数据采集系统中。微纳半导体光电材料的感光面积一般在几个微米到百微米之间，需要扎探针的电极大小一般在几个微米到百微米之间。而第三代半导体光电材料在光电流显微系统中的测试过程为先将被测样品放置在样品载物台上，然后在成像CCD（即：监控相机）中找到要测试的样品，探针移动到对应电极位置，观察CCD扎探针，将测试样品位置与测试光斑位置重合开始测量。

现有显微光电流测试系统需要配备CCD、探针夹具、显微物镜以及激光器等设备，但现有探针夹具中引出电信号用的导线设置于探针夹具的上方，探针位于导线的下方，这样的设置会存在两个问题：一、导线的设置位置会与显微光路的调节按钮产生干涉，对调节按钮操作过程中容易触碰到导线，从而影响操作；二、导线的晃动会引起探针位置的偏移，需要对探针的位置进行重新调整，不仅影响测试的准确性，而且反复对探针的位置调整过程中也增加了工作人员的工作量。

针对相关技术中与探针连接的导线易对探针操作造成干扰、探针夹具使用效果不佳的问题，目前尚未给出有效的解决方案。

由此，本发明人凭借多年从事相关行业的经验与实践，提出一种探针台，以克服现有技术的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针台，在其底部引出导线，避免导线对工作人员的操作产生干涉，确保插针位置的准确性，降低工作人员的工作量，提高光电流测试效率。

本实用新型的另一目的在于提供一种探针台，可调性好，位置调节精准度高，具有较佳的测试效果。

本实用新型的目的可采用下列技术方案来实现：

本实用新型提供了一种探针台，所述探针台包括置物平台、带动探针移动以对放置于所述置物平台上的物品进行测试的两个探针夹具、安放所述探针夹具的探针座平台以及带动所述置物平台和所述探针座平台进行升降动作的升降台，其中：

所述置物平台位于显微物镜的下方，且所述置物平台设置于所述探针座平台的上方，所述探针座平台设置于所述升降台的上方，两个所述探针夹具均设置于所述探针座平台的顶部，且两个所述探针夹具分别位于所述置物平台的两侧，各所述探针夹具夹持所述探针且带动所述探针移动，以使所述探针移动至所述置物平台的上方且对准所述置物平台上的物品；

所述探针与导线的一端连接，所述导线的另一端穿过所述探针夹具并伸出至所述探针夹具的下方。

在本实用新型的一较佳实施方式中，所述探针座平台与所述升降台之间设置有能带动所述探针座平台和所述置物平台在水平方向上移动的第一二维移动台，所述第一二维移动台的顶部与所述探针座平台的底部连接，所述第一二维移动台的底部与所述升降台的顶部连接。