[实用新型]阴极背板检漏装置

权利要求书

1.一种阴极背板检漏装置，其特征在于，包括：

壳体，围合形成具有顶部开口的腔体，所述壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，所述支承板环绕所述顶部开口，并且所述支承板上设有环绕所述顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于所述支承板上时能够封闭所述顶部开口；

第一接头，设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通；

第二接头，设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。

2.如权利要求1所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述壳体的顶部开口被设置成当阴极背板支承于所述支承板上时，阴极背板能够完全覆盖所述顶部开口。

3.如权利要求2所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述支承板上设有多个螺孔，所述螺孔用于配合螺栓以将阴极背板锁紧固定于所述支承板上。

4.如权利要求1所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述第一接头被构造成能够与前级泵对接，所述第二接头被构造成能够与真空计对接。

5.如权利要求4所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述壳体的侧壁上还设有与所述腔体连通的第三接头，所述第三接头被设置成能够与氦气瓶对接。

6.如权利要求1所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述支承板的两端部的顶面上凸伸形成有凸缘，所述凸缘用于将阴极背板定位于所述支承板上。

7.如权利要求1～6中任一项所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述壳体的底部安装有万向轮。