[实用新型]阴极背板检漏装置

说明书

本实用新型公开了一种阴极背板检漏装置，包括：壳体、第一接头和第二接头。壳体围合形成具有顶部开口的腔体，壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，支承板环绕顶部开口，并且支承板上设有环绕顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于支承板上时能够封闭顶部开口。第一接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。第二接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。本实用新型提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省时省力，提高生产效率；而且该检漏装置能够适用于多种检漏方法，使用方便、操作简单。

技术领域

本实用新型是关于检漏装置技术领域，特别是关于一种磁控溅射磁场阴极背板检漏装置。

背景技术

现有技术中，通常是将磁场阴极背板先安装在磁控溅射设备上，然后再对阴极背板进行检漏，如果阴极背板存在真空泄漏，则需要将阴极背板重新拆下后进行破空。由于阴极背板的体积较大且重量高，反复的从磁控溅射设备上拆装非常不便，费时费力，影响生产效率。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种阴极背板检漏装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种阴极背板检漏装置，其能够预先对阴极背板装进行检漏，而无需将阴极背板安装在磁控溅射设备上之后再进行检漏。

为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：

一种阴极背板检漏装置，包括：壳体、第一接头和第二接头。

壳体围合形成具有顶部开口的腔体，所述壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，所述支承板环绕所述顶部开口，并且所述支承板上设有环绕所述顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于所述支承板上时能够封闭所述顶部开口。

第一接头设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。第二接头设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。

在一个或多个实施方式中，所述壳体的顶部开口被设置成当阴极背板支承于所述支承板上时，阴极背板能够完全覆盖所述顶部开口。

在一个或多个实施方式中，所述支承板上设有多个螺孔，所述螺孔用于配合螺栓以将阴极背板锁紧固定于所述支承板上。

在一个或多个实施方式中，所述第一接头被构造成能够与前级泵对接，所述第二接头被构造成能够与真空计对接。

在一个或多个实施方式中，所述壳体的侧壁上还设有与所述腔体连通的第三接头，所述第三接头被设置成能够与氦气瓶对接。

在一个或多个实施方式中，所述支承板的两端部的顶面上凸伸形成有凸缘，所述凸缘用于将阴极背板定位于所述支承板上。

在一个或多个实施方式中，所述壳体的底部安装有万向轮。

与现有技术相比，本实用新型提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省时省力，提高生产效率；而且该检漏装置能够适用于多种检漏方法，使用方便、操作简单。

附图说明

图1是本实用新型一实施方式中的阴极背板检漏装置的立体结构示意图。

主要附图标记说明：

1-壳体，11-腔体，12-支承板，13-侧壁，121-螺孔，122-凸缘，21-第一接头，22-第二接头，23-第三接头，3-万向轮，4-密封条。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。