[实用新型]一种化学机械研磨垫研磨器

权利要求书

1.一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，包括底座(1)、固定架(2)、第一电机(3)、齿轮(4)、齿条(5)、连接板(6)、移动板(7)、固定组件、第一T型滑块(8)、第二电机(9)、第一锥齿轮(10)、第二锥齿轮(11)、丝杠轴(12)、滑杆(13)、第二T型滑块(14)、第三电机(15)和研磨盘(16)，第一电机(3)通过固定架(2)固定在底座(1)的顶端左侧，第一电机(3)的输出端与齿轮(4)连接，齿轮(4)与齿条(5)啮合传动连接，并且齿条(5)固定在连接板(6)的底端，齿条(5)的前后两端设置有限位块，并且连接板(6)固定在移动板(7)的左端中部，研磨垫通过固定组件固定在移动板(7)的右端，移动板(7)固定在第一T型滑块(8)的顶端中部，并且第一T型滑块(8)与底座(1)的顶端左侧滑动卡装，第二电机(9)固定在底座(1)的顶端右侧，第二电机(9)的输出端与第一锥齿轮(10)连接，第一锥齿轮(10)与第二锥齿轮(11)啮合传送连接，第二锥齿轮(11)固定在丝杠轴(12)的底部，并且丝杠轴(12)与底座(1)的顶端转动连接，滑杆(13)固定在底座(1)的顶端并位于丝杠轴(12)的左侧，第二T型滑块(14)与丝杠轴(12)螺装连接，并且第二T型滑块(14)与滑杆(13)滑动连接，第三电机(15)固定在第二T型滑块(14)的左端，第三电机(15)的输出端与研磨盘(16)连接，并且研磨盘(16)可与研磨垫接触。

2.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，固定组件包括两组电动推杆(17)、两组直角加夹持块(18)、两组螺杆(19)、两组转动把手(20)和两组压块(21)，两组电动推杆(17)分别对称固定在移动板(7)右端的上下两侧，电动推杆(17)的输出端与直角加夹持块(18)连接，并且两组直角加夹持块(18)分别与移动板(7)右端的上下两侧滑动卡装，螺杆(19)与直角加夹持块(18)螺装连接，转动把手(20)固定在螺杆(19)的右端，并且螺杆(19)的左端与压块(21)转动连接，压块(21)与直角加夹持块(18)内侧壁滑动卡装。

3.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，还包括吸气机(22)、吸尘箱(23)、吸尘网(24)和多组吸尘管(25)，吸气机(22)固定在底座(1)的底端中部，吸气机(22)的输入端与吸尘箱(23)的底端连通，并且吸尘箱(23)固定在底座(1)的顶端中部，吸尘网(24)固定在吸尘箱(23)内部，多组吸尘管(25)均匀固定在吸尘箱(23)的顶端，并且吸尘管(25)的顶端设置有吸尘嘴。

4.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，还包括推手(26)和多组万向轮(27)，推手(26)固定在底座(1)的右端，多组万向轮(27)均匀固定在底座(1)的底端，并且万向轮(27)上设置有刹车制动片。

5.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，还包括两组限位板(28)，两组限位板(28)分别固定在滑杆(13)的顶端和底部，并均与丝杠轴(12)转动连接。

6.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，还包括多组加强杆(29)，多组加强杆(29)均匀固定在移动板(7)左端的底部，并且加强杆(29)的另一端与第一T型滑块(8)的顶端连接。

7.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，第一电机(3)、第二电机(9)和第三电机(15)均为消音电机。