[实用新型]一种化学机械研磨垫研磨器

说明书

本实用新型涉及研磨设备的技术领域，特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器，其便于快速调节研磨垫的打磨位置，提高装置使用便捷性；包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一T型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠轴、滑杆、第二T型滑块、第三电机和研磨盘，第一电机通过固定架固定在底座的顶端左侧，第一电机的输出端与齿轮连接，齿轮与齿条啮合传动连接，并且齿条固定在连接板的底端，齿条的前后两端设置有限位块，并且连接板固定在移动板的左端中部，研磨垫通过固定组件固定在移动板的右端，移动板固定在第一T型滑块的顶端中部，并且第一T型滑块与底座的顶端左侧滑动卡装。

技术领域

本实用新型涉及研磨设备的技术领域，特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器。

背景技术

化学机械研磨垫研磨器是用于研磨研磨垫的辅助装置，其在研磨设备的领域中得到了广泛的使用；由于化学机械研磨垫长时间使用后研磨的物料会在研磨垫上积累，影响后续的物料的研磨，需要定期的进行清理，但现有的化学机械研磨垫研磨器难以调节研磨垫的研磨位置，导致装置的使用便捷性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于快速调节研磨垫的打磨位置，提高其使用便捷性的化学机械研磨垫研磨器。

本实用新型的一种化学机械研磨垫研磨器，包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一T型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠轴、滑杆、第二T型滑块、第三电机和研磨盘，第一电机通过固定架固定在底座的顶端左侧，第一电机的输出端与齿轮连接，齿轮与齿条啮合传动连接，并且齿条固定在连接板的底端，齿条的前后两端设置有限位块，并且连接板固定在移动板的左端中部，研磨垫通过固定组件固定在移动板的右端，移动板固定在第一T型滑块的顶端中部，并且第一T型滑块与底座的顶端左侧滑动卡装，第二电机固定在底座的顶端右侧，第二电机的输出端与第一锥齿轮连接，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传送连接，第二锥齿轮固定在丝杠轴的底部，并且丝杠轴与底座的顶端转动连接，滑杆固定在底座的顶端并位于丝杠轴的左侧，第二T型滑块与丝杠轴螺装连接，并且第二T型滑块与滑杆滑动连接，第三电机固定在第二T型滑块的左端，第三电机的输出端与研磨盘连接，并且研磨盘可与研磨垫接触；通过第三电机带动研磨盘转动，并通过研磨盘对研磨垫进行研磨，并且通过第一电机带动齿轮转动，齿轮与齿条啮合传动连接，使得连接板在第一T型滑块的配合使用下，带动移动板前后移动，同时可通过第二电机带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动连接，使得丝杠轴转动，从而使得第二T型滑块在滑杆的配合使用下，带动第三电机和研磨盘上下移动，便于快速调节研磨垫的打磨位置，提高装置使用便捷性。

优选的，固定组件包括两组电动推杆、两组直角加夹持块、两组螺杆、两组转动把手和两组压块，两组电动推杆分别对称固定在移动板右端的上下两侧，电动推杆的输出端与直角加夹持块连接，并且两组直角加夹持块分别与移动板右端的上下两侧滑动卡装，螺杆与直角加夹持块螺装连接，转动把手固定在螺杆的右端，并且螺杆的左端与压块转动连接，压块与直角加夹持块内侧壁滑动卡装；通过控制电动推杆，带动直角加夹持块上下移动，通过两组直角加夹持块对研磨垫进行加持固定，同时通过转动转动把手，使得螺杆带动压块向左侧移动，通过压块对研磨垫进行挤压固定，避免研磨垫研磨时出现晃动，提高装置的使用稳定性。

优选的，还包括吸气机、吸尘箱、吸尘网和多组吸尘管，吸气机固定在底座的底端中部，吸气机的输入端与吸尘箱的底端连通，并且吸尘箱固定在底座的顶端中部，吸尘网固定在吸尘箱内部，多组吸尘管均匀固定在吸尘箱的顶端，并且吸尘管的顶端设置有吸尘嘴；通过设置吸气机、吸尘箱、吸尘网和吸尘管，吸收研磨时产生的粉尘，避免粉尘扩散到空气中造成大气污染，提高装置的环保使用性。

优选的，还包括推手和多组万向轮，推手固定在底座的右端，多组万向轮均匀固定在底座的底端，并且万向轮上设置有刹车制动片；通过设置推手和万向轮，便于装置的整体移动，提高装置的灵活使用性。