[实用新型]一种喷淋装置

权利要求书

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：

底座，所述底座的上表面设有第一开口；

运输机构，设于所述第一开口，用于运输硅片；

盖板，设于所述底座的上方，且与所述底座的上表面具有间距，所述盖板的两侧边朝向所述运输机构延伸形成第二开口，所述盖板的上表面开设有若干连接孔；

喷淋单元，设于所述盖板内，所述喷淋单元内设有喷淋板，所述喷淋板设有若干第一排气孔，且所述喷淋板将所述喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与若干所述连接孔导通，所述第二腔室对应所述运输机构开设有第二排气孔。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋单元还包括固定板和底板；

所述固定板对应所述连接孔设有接气孔；

所述喷淋板对应所述固定板开设有若干第一凹槽，所述第一排气孔设于所述第一凹槽内，所述喷淋板与所述固定板连接形成所述第一腔室；

所述底板对应所述喷淋板开设有若干第二凹槽，所述第二排气孔设于所述第二凹槽内，所述底板与所述喷淋板连接形成所述第二腔室。

3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，若干所述第一凹槽间隔设置，且相邻的所述第一凹槽之间对应所述接气孔设有分流槽，所述分流槽延伸至所述第一凹槽，将相邻的所述第一凹槽导通。

4.根据权利要求2至3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，还包括分气阀、若干导气管和若干接气阀；

所述分气阀上具有接气端和若干分气口，所述分气口通过导气管与所述接气阀的一端连接，所述接气阀的另一端与所述接气孔连接，所述接气端用于接入反应气体。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，还包括调节件、调节杆和连接板；

所述盖板的上表面还开设有若干调节孔；

所述连接板与所述喷淋单元连接；

所述调节杆的一端通过所述调节孔与所述连接板连接，所述调节件与所述调节杆连接，用于调节所述喷淋单元的位置。

6.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，还包括伸缩机构，所述伸缩机构与所述盖板连接，用于调节所述底座与所述盖板的间距。

7.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，所述伸缩机构包括限位杆、过渡块和伸缩气缸；

所述伸缩气缸的伸缩端与所述过渡块连接；

所述过渡块与所述盖板连接；

所述限位杆与所述盖板连接，且与所述伸缩端的伸缩方向平行。

8.根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，还包括抽气筒；

所述底座的下表面开设有若干抽气孔，所述抽气筒对应所述抽气孔与所述底座连接，所述抽气筒用于与抽气风机连接。

9.根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述底座内还设有隔板和导流板；

所述导流板对应所述第一开口的两侧边设置；

所述隔板上间隔设有若干通孔，所述隔板与所述导流板连接。

10.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一排气孔的直径为1至5毫米，所述第二排气孔的直径为0.3至1.5毫米。