[实用新型]一种喷淋装置

说明书

本实用新型提供了一种喷淋装置，包括：底座，所述底座的上表面设有第一开口；运输机构设于第一开口用于运输硅片；盖板设于底座的上方，与底座的上表面具有间距，盖板的两侧边朝向运输机构延伸形成第二开口，盖板的上表面开设有若干连接孔喷淋单元，设于盖板内，喷淋单元内设有喷淋板，喷淋板设有若干第一排气孔，喷淋板将喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，第一腔室与若干连接孔导通，第二腔室对应运输机构开设有第二排气孔。本实用新型公开的喷淋装置将反应气体从连接孔输入，依次经过第一腔室和第二腔室，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及制备太阳能电池的技术领域，尤其涉及一种喷淋装置。

背景技术

钝化发射极和背面接触电池(PERC电池)在激光掺杂制备选择性发射极和碱抛背刻两道工序之间，需要将激光掺杂的区域先用氧化层保护起来，否则在碱抛背刻时激光掺杂区会因为激光去除了表面的磷硅玻璃(PSG)而被碱腐蚀掉。

目前激光重掺区的保护主要是用热氧化的方法制备氧化层，为了保证氧化反应能够充分均匀，所需要的温度为600-850℃，需要消耗大量的电能，造成制备成本难以降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种喷淋装置，结构简单，降低了生产成本，提高了硅片氧化处理时的均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供的一种喷淋装置，包括：

底座，所述底座的上表面设有第一开口；

运输机构，设于所述第一开口，用于运输硅片；

盖板，设于所述底座的上方，且与所述底座的上表面具有间距，所述盖板的两侧边朝向所述运输机构延伸形成第二开口，所述盖板的上表面开设有若干连接孔；

喷淋单元，设于所述盖板内，所述喷淋单元内设有喷淋板，所述喷淋板设有若干第一排气孔，且所述喷淋板将所述喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与若干所述连接孔导通，所述第二腔室对应所述运输机构开设有第二排气孔。

本实用新型提供的喷淋装置有益效果在于：将运输机构设置在底座上，用于对硅片进行运输，通过在盖板上设置喷淋单元，且喷淋单元内通过喷淋板分隔形成第一腔室和第二腔室，第一腔室与连接孔连接导通，由于喷淋板上设有若干第一排气孔，第一腔室的底面对应运输机构设有第二排气孔，所以当反应气体从连接孔输入时，会依次经过第一腔室和第二腔室，最后通过第二开口排出到运输机构上，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。

可选地，所述喷淋单元还包括固定板和底板，所述固定板对应所述连接孔设有接气孔，所述喷淋板对应所述固定板开设有若干第一凹槽，所述第一排气孔设于所述第一凹槽内，所述喷淋板与所述固定板连接形成所述第一腔室；所述底板对应所述喷淋板开设有若干第二凹槽，所述第二排气孔设于所述第二凹槽内，所述底板与所述喷淋板连接形成所述第二腔室。其有益效果在于：通过在固定板上开设接气孔，且喷淋板对应固定板设置有若干第一凹槽，固定板与喷淋板连接后形成第一腔室，使喷淋单元的结构简单紧凑，减小了安装空间。另外，底板对应喷淋板开设有第二凹槽，且第二排气孔设置与第二凹槽内，底板与喷淋板连接后形成第二腔室，进一步使装置整体结构简单紧凑，减少安装使用的空间。当反应气体通过第一腔室后，第一排气孔会将气体打散排入第二腔室，反应气体在第二腔室内再通过第二排气孔排出，进一步把气体打散，均匀的排出，保证了对物体的进行氧化反时的均匀性，且不需要大量的反应气体，降低了生产成本。