[实用新型]全自动晶圆分选机智能固晶结构

权利要求书

1.全自动晶圆分选机智能固晶结构，其特征是：包括有基座，所基座上设有滑动轨，所述滑动轨上设有滑动座，所述滑动座连接有往复驱动气缸；在所述滑动座上设有固晶针驱动电机，所述固晶针驱动电机的电机轴上设有偏心凸轮，所述偏心凸轮与固晶针套座形成联动结构；固晶针套座中设有固晶针。

2.根据权利要求1所述的全自动晶圆分选机智能固晶结构，其特征是：所述偏心凸轮为椭圆形转轮。

3.根据权利要求2所述的全自动晶圆分选机智能固晶结构，其特征是：所述椭圆形转轮设有上半椭圆形转轮及下半椭圆形转轮，所述上半椭圆形转轮及下半椭圆形转轮由穿过电机轴的螺杆连接。

4.根据权利要求1所述的全自动晶圆分选机智能固晶结构，其特征是：所述滑动座为L形滑动座，往复驱动气缸的推动端与L形滑动座的凸块连接。