[实用新型]一种半导体芯片烘干装置有效

专利信息
申请号: 202122539143.8 申请日: 2021-10-21
公开(公告)号: CN216620485U 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 白俊春 申请(专利权)人: 江苏晶曌半导体有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/04;F26B25/00;F26B25/12
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 李延峰
地址: 221000 江苏省徐州市邳州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 烘干 装置
【权利要求书】:

1.一种导体芯片烘干装置,其特征在于:包括箱体(1)、风机(2)、挡板(3)、烘干板机构(4),所述箱体(1)顶部为倒漏斗状,所述箱体(1)前部设有箱门(11),所述箱体(1)外壁底部固定有风机(2),所述风机(2)上的进气管(22)和排气管(21)分别延伸至所述箱体(1)的底部和顶部,所述箱体(1)两侧内壁上均自上而下等距设置有滚轮槽(101),所述烘干板机构(4)的两侧分别设置于两个相对应的滚轮槽(101)内;

所述烘干板机构(4)由烘干板(41)、滚轮(42)组成,所述烘干板(41)上等距开设有放置槽(411),所述放置槽(411)底部为中空结构,所述放置槽(411)之间开设有第二通孔(412),所述烘干板(41)底部的四个边角处均轴接有滚轮(42),所述滚轮(42)沿滚轮槽(101)推入箱体(1)内;

所述挡板(3)设置于所述烘干板机构(4)正上方的箱体(1)内,且所述挡板(3)上开设有第一通孔(311)。

2.根据权利要求1中所述的一种导体芯片烘干装置,其特征在于:所述箱门(11)上设置有把手(111)。

3.根据权利要求1中所述的一种导体芯片烘干装置,其特征在于:所述烘干板(41)上设置有相对的两个推拉杆(43)。

4.根据权利要求1中所述的一种导体芯片烘干装置,其特征在于:所述进气管(22)远离所述风机(2)的一端和所述排气管(21)远离所述风机(2)的一端均设置有集气罩(200)。

5.根据权利要求1中所述的一种导体芯片烘干装置,其特征在于:所述第一通孔(311)的孔径小于所述第二通孔(412)的孔径。

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