[实用新型]一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构有效
申请号: | 202122579077.7 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN216174413U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 季林;卞则军 | 申请(专利权)人: | 苏州博康智能科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/36 | 分类号: | B07C5/36;B65G49/07 |
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地址: | 215134 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分拣 ic 吸头 机构 | ||
1.一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,包括运动部和吸头部,其特征在于:所述运动部包括X轴轨道和滑移连接在X轴轨道上的Y轴轨道,所述吸头部滑移连接在Y轴轨道上,所述吸头部包括直接连接在Y轴轨道上的安装座和设置在安装座内的IC吸头组,所述IC吸头组包括若干个IC吸头和对应每个IC吸头配置的微调组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,其特征在于:所述微调组件包括连接在IC吸头上的驱动块和连接在驱动块上的升降微调组件和水平微调组件。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,其特征在于:所述水平微调组件包括连接在驱动块上的水平皮带驱动组件和水平限位轨道,所述驱动块上连接有限位挡杆,所述水平限位轨道套在限位挡杆上。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,其特征在于:所述升降微调组件包括升降皮带和连接在升降皮带上的驱动电机,所述驱动块固定连接在升降皮带上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,其特征在于:所述IC吸头组设有四组且四组所述IC吸头组均由2*2分布的IC吸头构成。
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