[实用新型]一种多谱近红外薄膜厚度测量仪

权利要求书

1.一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，包括底座(10)与光谱座(12)，所述底座(10)与所述光谱座(12)之间设有支架(11)，所述支架(11)两端分别与二者固定连接，其特征在于，所述底座(10)内部设有光谱接收器(24)以及用于记录与计算所述光谱接收器(24)接收数据的处理器(23)，所述光谱座(12)内部开设有光谱腔(30)，所述光谱座(12)上开设有朝向所述光谱接收器(24)的发射孔(31)，所述发射孔(31)使外界与所述光谱腔(30)相连通，所述光谱腔(30)内部设有用于发出光谱的卤素灯(36)，所述卤素灯(36)正对所述发射孔(31)，所述光谱腔(30)内部设有偏光盘(33)，所述光谱座(12)上设有用于驱动所述偏光盘(33)转动的动力组件，所述偏光盘(33)上环状排列有多个用于改变所述卤素灯(36)发出光谱的偏光片(34)，在使用该装置时，所述卤素灯（36）、多个偏光片（34）其中一个、以及发射孔（31）按照光谱的发射路径依次设置。

2.根据权利要求1所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述动力组件包括与所述光谱腔(30)转动连接的连接轴(38)，所述连接轴(38)一端与所述偏光盘(33)固定连接，所述连接轴(38)另一端固设有用于手持转动的指示轮盘(39)，所述指示轮盘（39）位于外界空间。

3.根据权利要求2所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述指示轮盘(39)周向设有用于标识所述偏光片(34)位置的光谱代码，所述光谱座(12)上还设有用于对应所述光谱代码的固定指针(37)。

4.根据权利要求1所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述动力组件包括动力电机(32)，所述动力电机(32)包括固定端与输出轴端，所述固定端与所述光谱腔(30)内壁固定连接，所述输出轴端与所述偏光盘(33)固定连接。

5.根据权利要求2或4所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述底座(10)内部设有检测槽(22)，所述检测槽(22)朝向所述发射孔(31)的一侧设有开口，所述处理器(23)与所述光谱接收器(24)设置于所述检测槽(22)内部，所述检测槽(22)内部设有用于封闭所述检测槽(22)的开口的透明板(20)。

6.根据权利要求5所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述透明板(20)上侧滑设有清洁块(21)，所述清洁块(21)与所述透明板(20)上表面抵接。

7.根据权利要求1所述的一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述卤素灯(36)外侧设有用于对所述卤素灯(36)聚光的聚光罩(35)。