[实用新型]一种多谱近红外薄膜厚度测量仪

说明书

本实用新型涉及薄膜厚度测量领域，特别地，涉及一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，包括底座与光谱座，所述底座与所述光谱座之间设有支架，所述支架两端分别与二者固定连接，所述底座内部设有光谱接收器以及用于记录与计算所述光谱接收器接收数据的处理器，所述光谱座内部开设有光谱腔，所述光谱座上开设有朝向所述光谱接收器的发射孔，所述发射孔使外界与所述光谱腔相连通，所述光谱腔内部设有用于发出光谱的卤素灯，所述卤素灯正对所述发射孔，所述光谱腔内部设有偏光盘；本实用新型目的是克服现有技术的不足而提供一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，实现切换不同波长的光谱对薄膜厚度进行测量的效果。

技术领域

本实用新型涉及薄膜厚度测量领域，特别地，涉及一种多谱近红外薄膜厚度测量仪。

背景技术

薄膜厚度测量仪主要用于测量薄膜的厚度，由于不同波长的光谱穿透不同厚度的薄膜时其强度会发生衰减，同时由于某些特定的分子键会吸收特定波长的光。与这些分子键所对应的特定波长的光线在材料中的吸收程度与材料中所含的这些分子的数量呈比例关系，这些特定波段的光线照射在被测物体上，散射的光线由温控的PbS感光元件检测。感光元件将光信号转换成电信号输出，经由处理器分析得到被测组分在被测物体中的百分比含量，数值以百分比显示，对于材质均匀的薄膜，各组分在内部通常为均匀分布，通过测定某一区域内被测组分的含量即可得到薄膜的厚度数值。因此如何设计一种薄膜厚度测量仪，可切换不同波长的光谱对薄膜厚度进行测量成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型目的是克服现有技术的不足而提供一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，实现切换不同波长的光谱对薄膜厚度进行测量的效果。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，包括底座与光谱座，所述底座与所述光谱座之间设有支架，所述支架两端分别与二者固定连接，所述底座内部设有光谱接收器以及用于记录与计算所述光谱接收器接收数据的处理器，所述光谱座内部开设有光谱腔，所述光谱座上开设有朝向所述光谱接收器的发射孔，所述发射孔使外界与所述光谱腔相连通，所述光谱腔内部设有用于发出光谱的卤素灯，所述卤素灯正对所述发射孔，所述光谱腔内部设有偏光盘，所述光谱座上设有用于驱动所述偏光盘转动的动力组件，所述偏光盘上环状排列有多个用于改变所述卤素灯发出光谱的偏光片，在使用该装置时，所述卤素灯、多个偏光片其中一个、以及发射孔按照光谱的发射路径依次设置。

较之现有技术，本实用新型的优点在于：

本实用新型准备检测薄膜厚度前，卤素灯通电发光，聚光罩对卤素灯发出的光线进行聚光，卤素灯发出的光线经偏光片、发射孔以及透明板照射光谱接收器,光谱接收器接收光谱，处理器记录光谱接收器接收的数据，操作者在发射孔与透明板之间放入薄膜，薄膜吸收部分光谱，处理器再次记录光谱接收器接收到的数据，处理器对两次数据进行对比计算得出薄膜厚度，需要切换光谱时，动力组件控制偏光盘与偏光片转动，偏光盘通过连接轴带动指示轮盘转动，卤素灯的光谱发射路径上的偏光片随之改变，重复以上操作，即可实现对不同薄膜厚度的测量。

进一步的，所述动力组件包括与所述光谱腔转动连接的连接轴，所述连接轴一端与所述偏光盘固定连接，所述连接轴另一端固设有用于手持转动的指示轮盘，所述指示轮盘位于外界空间，实现手动调节卤素灯光谱发射路径的偏光片。

进一步的，所述指示轮盘周向设有用于标识所述偏光片位置的光谱代码，所述光谱座上还设有用于对应所述光谱代码的固定指针，实现调节指定的偏光片位于光谱发射路径上。

进一步的，所述动力组件包括动力电机，所述动力电机包括固定端与输出轴端，所述固定端与所述光谱腔内壁固定连接，所述输出轴端与所述偏光盘固定连接，实现控制偏光盘转动。

进一步的，所述底座内部设有检测槽，所述检测槽朝向所述发射孔的一侧设有开口，所述处理器与所述光谱接收器设置于所述检测槽内部，所述检测槽内部设有用于封闭所述检测槽的开口的透明板，实现对所述光谱接收器进行防尘操作。