[实用新型]一种晶圆棒外壁打磨装置

权利要求书

1.一种晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，包括打磨机构（1），打磨机构（1）的两端设有一对夹持机构（2），打磨机构（1）用于晶圆棒外壁的打磨操作，夹持机构（2）用于晶圆棒两端的夹持；

打磨机构（1）包括长条底板（10），长条底板（10）开设有运动孔（100），长条底板（10）的下壁两端均安装有调节轴承座（12），调节轴承座（12）之间设有多根调节导杆（13），其中一个调节轴承座（12）安装有调节电机（14），调节电机（14）的输出轴连接有调节丝杆（15），调节丝杆（15）设有调节座（16），调节座（16）上端设有下限板（17），调节座（16）的上端穿于运动孔（100），调节座（16）的上端设有上板（11），上板（11）上端设有一对转动套环（18），转动套环（18）内设有转动环，转动环的外壁设有从动齿环（192），从动齿环（192）啮合有驱动齿轮（191），驱动齿轮（191）两端均设有驱动轴承座（19），驱动轴承座（19）均安装于转动套环（18），驱动齿轮（191）连接有驱动电机（190），转动环内壁呈圆周阵列地设有打磨构件。

2.根据权利要求1所述的晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，打磨构件包括安装于转动环内壁的凸台（193），凸台（193）的两端均安装有调节端座（194），调节端座（194）均设有内顶丝杆（195），内顶丝杆（195）的外侧端均设有转动盘，每对内顶丝杆（195）的内侧端均设有打磨件（196）。

3.根据权利要求2所述的晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，打磨件（196）的内壁呈内凹弧形状。

4.根据权利要求1所述的晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，夹持机构（2）包括安装于长条底板（10）外侧端的外伸底板（20），外伸底板（20）成形有调节孔（200），外伸底板（20）上壁安装有一对内推轴承座（21），内推轴承座（21）之间设有内推丝杆（22），内推丝杆（22）的一端连接有内推电机（23），内推丝杆（22）设有内推座（24），内推座（24）向内延伸地设有一对内推板（25），内推板（25）穿于位于内侧的内推轴承座（21），内推板（25）的内侧端安装有内推安装板（26），内推安装板（26）安装有夹持构件。

5.根据权利要求4所述的晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，夹持构件包括安装于内推安装板（26）的夹持矩形板（27），夹持矩形板（27）外壁安装有一对夹持轴承座（28），夹持轴承座（28）之间设有两端螺纹旋向相反的夹持螺杆（291），夹持螺杆（291）的上端设有转盘（290），夹持轴承座（28）之间设有夹持导板（29），夹持螺杆（291）的上下两端均设有夹持座（292），夹持座（292）均穿于夹持矩形板（27），夹持座（292）的另一端均设有夹持V形件（293）。

6.根据权利要求5所述的晶圆棒外壁打磨装置，其特征在于，转盘（290）偏心地设有持握杆。