[实用新型]一种双面精磨装置

权利要求书

1.一种双面精磨装置，其特征在于，包括底板（1），底板（1）的两端均设有内推机构（2），内推机构（2）均设有精磨机构（3），内推机构（2）用于调节精磨机构（3）之间的间距，以使精磨机构（3）对晶圆盘的端面进行精磨；

内推机构（2）包括安装于底板（1）端部的内推底板（20），内推底板（20）上壁两端均安装有内推轴承座（21），位于外侧的内推轴承座（21）安装有内推电机（23），内推电机（23）的输出轴连接有内推丝杆（22），内推丝杆（22）设有内推座（24），内推座（24）设有一对内推板（25），内推板（25）均穿于位于内侧的内推轴承座（21），内推板（25）的内侧端设有内推端板（26）。

2.根据权利要求1所述的双面精磨装置，其特征在于，精磨机构（3）包括安装于内推端板（26）的固定内板（30），固定内板（30）的上端设有外盘（31），外盘（31）安装有精磨电机（32），精磨电机（32）的输出轴连接有内转盘（33），内转盘（33）的外周套设有锁定套环（35），锁定套环（35）的内侧端安装有磨盘（36）。

3.根据权利要求2所述的双面精磨装置，其特征在于，内转盘（33）呈圆周阵列地开设有凹槽（330），内转盘（33）呈圆周阵列地还开设有定位眼（331），内转盘（33）的弧壁成形有镶套环槽，定位眼（331）位于相邻两个凹槽（330）之间。

4.根据权利要求3所述的双面精磨装置，其特征在于，锁定套环（35）的内壁呈圆周阵列地设有内卡板（350），内卡板（350）均成形有穿孔，精磨电机（32）的输出轴套设有转动环，转动环的外壁呈圆周阵列地成形有外支板（340），外支板（340）的外侧端均设有定位杆（341）；

当锁定套环（35）套设于内转盘（33）时，内卡板（350）位于镶套环槽内，且内卡板（350）位于相邻两个凹槽（330）之间，穿孔与定位眼（331）的数量一致，且穿孔于定位眼（331）一一对应，且穿孔与其对应的定位眼（331）同心，且定位杆（341）穿于穿孔与定位眼（331）。

5.根据权利要求4所述的双面精磨装置，其特征在于，锁定套环（35）的外壁呈圆周阵列地设有固定凸板（351），固定凸板（351）均安装有配合凸板（37），配合凸板（37）的内侧端设于磨盘（36）。