[实用新型]一种真空离子镀膜靶材用冷水背板

权利要求书

1.一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，包括冷水背板主体（1），其特征在于：所述冷水背板主体（1）的一侧设置有连接板（5），所述连接板（5）与冷水背板主体（1）之间设置有缺口（4），所述冷水背板主体（1）的一侧设置有滑动冷却板（13），所述滑动冷却板（13）的一端延伸至冷水背板主体（1）内部与冷水背板主体（1）滑动连接，所述冷水背板主体（1）的后端安装有冷却水箱（11），所述冷却水箱（11）的内部中间安装有电动马达（16），所述电动马达（16）的一端安装有螺纹杆（17），所述螺纹杆（17）的一端穿过冷水背板主体（1）延伸至滑动冷却板（13）内部与滑动冷却板（13）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述冷水背板主体（1）的外部两侧均设置有滑槽（2），所述滑槽（2）的外部安装有弹簧按钮（3），所述弹簧按钮（3）的一端延伸至冷水背板主体（1）内部与滑动冷却板（13）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述连接板（5）的外部两侧均安装有侧连接条（6），两个所述侧连接条（6）之间设置有降温板（8），所述侧连接条（6）的外表面设置有限位槽（7），所述降温板（8）的外表面设置有定位孔（10）。

4.根据权利要求3所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述降温板（8）的外表面设置有散热板（9），所述散热板（9）设置有若干个，若干个所述散热板（9）均延伸至降温板（8）内部与降温板（8）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述滑动冷却板（13）的内部设置有限位挡板（14），所述限位挡板（14）与滑动冷却板（13）之间安装有冷却水管（15）。

6.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述冷却水箱（11）的内部设置有微型泵（18），所述微型泵（18）的一端安装有连接软管（12），所述连接软管（12）的两端分别与微型泵（18）和冷却水管（15）密封连接。

7.根据权利要求4所述的一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，其特征在于：所述降温板（8）通过卡扣与连接板（5）固定连接，所述散热板（9）的内部设置有水流管道，且所述散热板（9）通过卡槽与降温板（8）卡合。