[实用新型]一种真空离子镀膜靶材用冷水背板

说明书

本实用新型公开了一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，涉及镀膜靶材领域，为解决现有技术中的真空离子镀膜靶材固定背板无法适应不同的镀膜靶材，不方便安装，影响工作效率的问题。所述冷水背板主体的一侧设置有连接板，所述连接板与冷水背板主体之间设置有缺口，所述冷水背板主体的一侧设置有滑动冷却板，所述滑动冷却板的一端延伸至冷水背板主体内部与冷水背板主体滑动连接，所述冷水背板主体的后端安装有冷却水箱，所述冷却水箱的内部中间安装有电动马达，所述电动马达的一端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端穿过冷水背板主体延伸至滑动冷却板内部与滑动冷却板螺纹连接，所述冷水背板主体的外部两侧均设置有滑槽，所述滑槽的外部安装有弹簧按钮。

技术领域

本实用新型涉及镀膜靶材技术领域，具体为一种真空离子镀膜靶材用冷水背板。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

在真空离子镀膜靶材进行工作中，需要需要进行固定，但是现有的真空离子镀膜靶材固定背板无法适应不同的镀膜靶材，不方便安装，影响工作效率；因此市场急需研制一种真空离子镀膜靶材用冷水背板来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，以解决上述背景技术中提出的现有的真空离子镀膜靶材固定背板无法适应不同的镀膜靶材，不方便安装，影响工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，包括冷水背板主体，所述冷水背板主体的一侧设置有连接板，所述连接板与冷水背板主体之间设置有缺口，所述冷水背板主体的一侧设置有滑动冷却板，所述滑动冷却板的一端延伸至冷水背板主体内部与冷水背板主体滑动连接，所述冷水背板主体的后端安装有冷却水箱，所述冷却水箱的内部中间安装有电动马达，所述电动马达的一端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端穿过冷水背板主体延伸至滑动冷却板内部与滑动冷却板螺纹连接。

优选的，所述冷水背板主体的外部两侧均设置有滑槽，所述滑槽的外部安装有弹簧按钮，所述弹簧按钮的一端延伸至冷水背板主体内部与滑动冷却板固定连接。

优选的，所述连接板的外部两侧均安装有侧连接条，两个所述侧连接条之间设置有降温板，所述侧连接条的外表面设置有限位槽，所述降温板的外表面设置有定位孔。

优选的，所述降温板的外表面设置有散热板，所述散热板设置有若干个，若干个所述散热板均延伸至降温板内部与降温板固定连接。

优选的，所述滑动冷却板的内部设置有限位挡板，所述限位挡板与滑动冷却板之间安装有冷却水管。

优选的，所述冷却水箱的内部设置有微型泵，所述微型泵的一端安装有连接软管，所述连接软管的两端分别与微型泵和冷却水管密封连接。

优选的，所述降温板通过卡扣与连接板固定连接，所述散热板的内部设置有水流管道，且所述散热板通过卡槽与降温板卡合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1. 该实用新型通过滑动冷却板的设置，在需要安装镀膜靶材时，可将镀膜靶材安装在侧连接条和降温板外表面的定位孔和限位槽进行固定，从而可方便进行适应不同类型的镀膜靶材，且背板在安装时，可通过冷水背板主体内部的滑动冷却板进行滑动，通过电动马达带动螺纹杆转动，通过螺纹杆带动滑动冷却板移动，滑动冷却板可带动连接板和降温板移动，使镀膜靶材在工作过程中，可进行调整，从而可提高使用效果，有效的提高了靶材的工作质量。