[实用新型]一种晶圆卡盘冷却装置

权利要求书

1.一种晶圆卡盘冷却装置，包括水冷盘(1)，所述水冷盘(1)包括底板(11)，底板(11)上一体焊接中空的盖板(12)，其特征在于，所述水冷盘(1)内部设置有蛇形流道(16)，沿底板(11)径向向外，所述蛇形流道(16)的流道宽度逐渐减小，所述蛇形流道(16)通过盖板(12)上的进水口(18)、出水口(19)与外部进水管路、出水管路连接以供冷却水流通，所述冷却水对位于所述水冷盘(1)上的晶圆卡盘(2)进行冷却。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述蛇形流道(16)包括均与底板(11)同轴并依次沿底板(11)径向向外等距布置的环形流道(163)、出水中间流道(164)、进水中间流道(165)、边缘流道(166)，所述进水中间流道(165)与所述进水口(18)连通，所述边缘流道(166)与所述出水口(19)连通，所述冷却水进入所述环形流道(163)后换向流出。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述环形流道(163)的入口端与所述进水中间流道(165)的出水端之间、所述出水中间流道(164)的出水端与所述边缘流道(166)的入水端之间、所述进水中间流道(165)与进水口(18)之间均通过直线流道(167)连通，相邻直线流道(167)平行等距布置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述晶圆卡盘(2)通过定位销钉一(3)、定位销钉二(4)连接于所述盖板(12)上方。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述盖板(12)上设置有销钉孔一(121)、销钉孔二(122)，所述底板(11)以及晶圆卡盘(2)上对应设置有与所述销钉孔一(121)、销钉孔二(122)适配的销钉孔三(112)、销钉孔四(113)、盲孔，所述定位销钉一(3)、定位销钉二(4)与所述销钉孔一(121)、销钉孔二(122)、销钉孔三(112)、销钉孔四(113)、盲孔配合，将所述晶圆卡盘(2)定位在所述水冷盘(1)上。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述盖板(12)下方通过螺栓连接组件连接有支撑固定块一(9)、支撑固定块二(10)，所述进水口(18)、出水口(19)分别通过卡套接头孔(111)安装有用于连接所述进水管路、出水管路系统的卡套接头(8)，所述支撑固定块二(10)位于所述卡套接头孔(111)下方。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述螺栓连接组件包括支撑柱一(5)、支撑柱二(6)以及与二者适配的固定螺栓一(7)、固定螺栓二(71)，所述盖板(12)边缘处穿设所述固定螺栓一(7)，所述支撑固定块一(9)中部以及支撑固定块二(10)两端均穿设与固定螺栓一(7)同轴的固定螺栓二(71)，同轴的一对固定螺栓一(7)、固定螺栓二(71)同轴螺纹连接于支撑柱一(5)或支撑柱二(6)内。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述盖板(12)周向间隔设置有若干个螺孔一(123)，所述固定螺栓一(7)穿入所述螺孔一(123)内，所述固定螺栓二(71)与固定螺栓一(7)反向布置。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述支撑柱一(5)、支撑柱二(6)支撑在所述盖板(12)与支撑固定块一(9)、支撑固定块二(10)之间。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆卡盘冷却装置，其特征在于，所述水冷盘(1)采用铝合金制成，所述晶圆卡盘(2)采用钛合金制成。