[实用新型]一种用于晶圆卡盘的水冷盘

权利要求书

1.一种用于晶圆卡盘的水冷盘(1)，包括底板(11)，底板(11)上一体焊接中空的盖板(12)，其特征在于，所述底板(11)一侧边缘处固设有弧形挡板(13)，所述弧形挡板(13)径向内侧均布固设有若干个相互平行且长短不一的焊板一(14)，所述盖板(12)另一侧内壁均布固设有若干个与焊板一(14)平行且长短不一的焊板二(15)，所述焊板二(15)与焊板一(14)交替穿插布置且其端部与所述弧形挡板(13)之间存在间隔，所述焊板一(14)、焊板二(15)在所述水冷盘(1)内部分隔出若干个直线型的供冷却水流通的冷却流道(16)，所述冷却水对位于所述水冷盘(1)上的晶圆卡盘(2)进行冷却。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述底板(11)中部沿一直径方向固定布置有分水板(17)，所述分水板(17)与焊板一(14)、焊板二(15)平行且一端固定在弧形挡板(13)上，另一端固定在所述盖板(12)内壁上，所述分水板(17)将水冷盘(1)的内部居中分隔为进水区域I、出水区域II，所述进水区域I、出水区域II分别与进水管路、出水管路连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述盖板(12)在进水区域I一侧设置有进水口(18)，出水区域II一侧设置有出水口(19)，所述进水口(18)、出水口(19)分别通过卡套接头孔(111)安装有用于连接进水、出水管路系统的卡套接头(8)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述晶圆卡盘(2)通过定位销钉一(3)、定位销钉二(4)连接于所述盖板(12)上方。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述盖板(12)上设置有销钉孔一(121)、销钉孔二(122)，所述底板(11)以及晶圆卡盘(2)上对应设置有与所述销钉孔一(121)、销钉孔二(122)适配的销钉孔三(112)、销钉孔四(113)、盲孔，所述定位销钉一(3)、定位销钉二(4)与所述销钉孔一(121)、销钉孔二(122)、销钉孔三(112)、销钉孔四(113)、盲孔配合，将所述晶圆卡盘(2)定位在所述水冷盘(1)上。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述盖板(12)周向间隔设置有四个螺孔一(123)，靠近所述卡套接头孔(111)的两个螺孔一(123)处共同安装有支撑固定块二(10)，其余两个螺孔一(123)处均安装有支撑固定块一(9)。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述支撑固定块二(10)的两端分别通过支撑柱一(5)、支撑柱二(6)与盖板(12)连接，所述支撑固定块一(9)通过支撑柱一(5)与所述盖板(12)连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述螺孔一(123)内配设有固定螺栓一(7)，所述支撑固定块一(9)、支撑固定块二(10)上均配设有与固定螺栓一(7)同轴反向布置的固定螺栓二(71)，同轴的一对固定螺栓一(7)、固定螺栓二(71)外部同轴螺纹连接支撑柱一(5)或支撑柱二(6)。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述支撑柱一(5)的两端、支撑柱二(6)的顶端均有凸台部(51)，所述盖板(12)底部、支撑固定块一(9)顶部、支撑固定块二(10)一端顶部均设置有与所述凸台部(51)吻合的凹陷部(52)。

10.根据权利要求9所述的一种用于晶圆卡盘的水冷盘，其特征在于，所述水冷盘(1)采用铝合金制成，所述晶圆卡盘(2)采用钛合金制成。