[实用新型]镀膜载具用清洗装置

权利要求书

1.镀膜载具用清洗装置，其特征在于，包括：

基台(101)，支撑镀膜载具(105)；

机械手部(102)，设置在所述基台(101)上；

激光清洗头(103)，对所述镀膜载具(105)进行激光清洗，设置在所述机械手部(102)的末端，被所述机械手部(102)驱动；

除尘部(104)，设置在所述激光清洗头(103)的激光发射端(103a)，对被所述激光清洗头(103)所清洗的所述镀膜载具(105)的膜层进行除尘。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述机械手部(102)呈龙门状，包括：

相互平行的两根Y轴机械手(107)，所述Y轴机械手(107)分别安装在所述基台(101)的X轴方向的两侧，所述Y轴机械手(107)的驱动行程为2000mm以上；

X轴机械手(108)，所述X轴机械手(108)的X轴方向的两端分别搭载在所述Y轴机械手(107)上，所述X轴机械手(108)的驱动行程为2000mm以上；

Z轴机械手(109)，搭载在所述X轴机械手(108)上；

其中，所述激光清洗头(103)被搭载在所述Z轴机械手(109)上。

3.根据权利要求1或2所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，还包括可拆卸的遮板(110)，在所述激光清洗头(103)对所述镀膜载具(105)的膜层进行清洗时，所述遮板(110)遮住所述镀膜载具(105)的不被清洗的部分。

4.根据权利要求1或2所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述除尘部(104)包括除尘套筒(112)，所述除尘套筒(112)安装在所述激光发射端(103a)。

5.根据权利要求4所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述除尘套筒(112)的下部形成环状的吹气腔(114)以及环状的第一吸附腔(115)，所述第一吸附腔(115)围绕在所述吹气腔(114)的外侧。

6.根据权利要求5所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述第一吸附腔(115)沿周向设置有多个负压发生孔(119)。

7.根据权利要求5所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述除尘部(104)还包括环状的刷头(120)，所述刷头(120)安装到所述除尘套筒(112)的下部。

8.根据权利要求7所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述刷头(120)环绕在所述第一吸附腔(115)的外侧。

9.根据权利要求8所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述除尘套筒(112)的下部，形成环状的第二吸附腔(121)，所述第二吸附腔(121)设置在所述第一吸附腔(115)的外侧，所述刷头(120)安装在所述第一吸附腔(115)和所述第二吸附腔(121)之间。

10.根据权利要求9所述的镀膜载具用清洗装置，其特征在于，所述除尘部(104)还包括罩部(123)，所述罩部(123)设置在所述除尘套筒(112)的下部并围绕所述刷头(120)，所述刷头(120)的下端相比于所述罩部(123)的下端，朝下突出。