[实用新型]镀膜载具用清洗装置

说明书

本实用新型公开了镀膜载具用清洗装置，包括：基台(101)，支撑镀膜载具(105)；机械手部(102)，设置在所述基台(101)上；激光清洗头(103)，对所述镀膜载具(105)进行激光清洗，设置在所述机械手部(102)的末端，被所述机械手部(102)驱动；除尘部(104)，设置在所述激光清洗头(103)的激光发射端(103a)，对被所述激光清洗头(103)所清洗的所述镀膜载具(105)的膜层进行除尘。根据本实用新型一方面的镀膜载具用清洗装置，能够在对镀膜载具的表面进行精密的清洗的同时，减少对镀膜载具造成的损伤。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及镀膜载具用清洗装置。

背景技术

在太阳能电池的生产中，通过需要使用包括但不限于平面载板、托盘、背板等的镀膜载具来承载例如金属板、陶瓷片、玻璃片等的衬底。衬底被镀膜载具支撑并被送入例如蒸镀机、等离子体化学镀膜设备、热丝化学镀膜设备等的设备中进行镀膜。

随着使用的时间的增长，镀膜载具上会残留镀膜的膜层。当这些膜层积累到一定的厚度的时候，有可能会脱落，甚至有可能直接脱落到衬底上。因此，在镀膜载具使用了一段时间后，需要对镀膜载具的表面残留的镀膜层进行清洗。

现有的对镀膜载具进行清洗的方法通常包括例如物理喷砂和化学药液腐蚀两种。喷砂通常用于对镀膜载具的表面进行常规清洗。然而，喷砂通常是人工操作而且难以控制镀膜载具的形变量。镀膜载具的形变量过大，会导致镀膜载具的精度下降。化学药液腐蚀则经常用于对镀膜载具的表面进行精密清洗。然而，长期使用药液腐蚀的方式会损伤镀膜载具(导致镀膜载具的承载部分的厚度越来越薄)，进而影响镀膜载具的寿命。

实用新型内容

本实用新型为了至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种镀膜载具用清洗装置，能够在对镀膜载具的表面进行精密的清洗的同时，减少对镀膜载具造成的损伤。

根据本实用新型一方面的镀膜载具用清洗装置，包括：基台，支撑镀膜载具；机械手部，设置在所述基台上；激光清洗头，对所述镀膜载具进行激光清洗，设置在所述机械手部的末端，被所述机械手部驱动；除尘部，设置在所述激光清洗头的激光发射端，对被所述激光清洗头所清洗的膜层进行除尘。

根据本实用新型一方面的镀膜载具用清洗装置，具有如下有益效果：能够在对镀膜载具的表面进行精密的清洗的同时，减少对镀膜载具造成的损伤。

在一些实施例中，所述机械手部呈龙门状，包括：相互平行的两根Y轴机械手，所述Y轴机械手分别安装在所述基台的X轴方向的两侧，所述Y轴机械手的驱动行程为2000mm以上；X轴机械手，所述X轴机械手的X轴方向的两端分别搭载在所述Y轴机械手上，所述X轴机械手的驱动行程为2000mm以上；Z轴机械手，搭载在所述X轴机械手上；其中，所述激光清洗头被搭载在所述Z轴机械手上。

在一些实施例中，还包括可拆卸的遮板，在对所述镀膜载具的膜层进行清洗时，所述遮板遮住所述镀膜载具的不被清洗的部分。

在一些实施例中，所述除尘部包括除尘套筒，所述除尘套筒安装在所述激光发射端。

在一些实施例中，所述除尘套筒的下部，形成环状的吹气腔以及环状的第一吸附腔，所述第一吸附腔围绕在所述吹气腔的外侧。

在一些实施例中，所述第一吸附腔沿周向设置有多个负压发生孔。

在一些实施例中，所述除尘部还包括环状的刷头，所述刷头安装到所述除尘套筒的下部。

在一些实施例中，所述刷头环绕在所述第一吸附腔的外侧。

在一些实施例中，所述除尘套筒的下部，形成环状的第二吸附腔，所述第二吸附腔设置在所述第一吸附腔的外侧，所述刷头安装在所述第一吸附腔和所述第二吸附腔之间。