[实用新型]一种用于异形屏的掩膜条结构有效
| 申请号： | 202122624566.X | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216107161U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 沈志昇 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 异形 掩膜条 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于异形屏的掩膜条结构，包括掩膜条板材（2），其特征在于：所述掩膜条板材（2）上设有若干组等间距分布的有效区域（1），所述有效区域（1）为石英光罩，所述有效区域（1）外侧设有包围层，包围层为蚀刻区域（6），蚀刻区域（6）呈矩形设置，所述有效区域（1）与对应的蚀刻区域（6）之间为缓冲区域（7），所述有效区域（1）内均匀分布有若干组贯穿孔（3），所述缓冲区域（7）内均匀分布有若干组非贯穿孔（5）。
2.根据权利要求1所述的一种用于异形屏的掩膜条结构，其特征在于：所述掩膜条板材（2）采用金属INVAR36材质制成，其厚度为20-100um。
3.根据权利要求1所述的一种用于异形屏的掩膜条结构，其特征在于：所述非贯穿孔（5）表面为残留层（4），其厚度为1-3um。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华佳彩有限公司，未经福建华佳彩有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122624566.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
