[实用新型]一种用于异形屏的掩膜条结构有效
申请号: | 202122624566.X | 申请日: | 2021-10-29 |
公开(公告)号: | CN216107161U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 沈志昇 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02;H01L51/56 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 异形 掩膜条 结构 | ||
本实用新型公开了一种用于异形屏的掩膜条结构,包括掩膜条板材,所述掩膜条板材上设有若干组等间距分布的有效区域,所述有效区域为石英光罩,所述有效区域外侧设有包围层,包围层为蚀刻区域,蚀刻区域呈矩形设置,所述有效区域与对应的蚀刻区域之间为缓冲区域,所述有效区域内均匀分布有若干组贯穿孔,所述缓冲区域内均匀分布有若干组非贯穿孔;本实用新型可以提高用于异形屏的掩膜条板材张网良率,提高张网效率;本实用新型掩膜条板材结构减缓异形屏的受力不均匀现象,解决褶皱问题,降低混色风险,改善混色现象。
技术领域
本实用新型属于OLED显示面板技术领域,具体涉及一种用于异形屏的掩膜条结构。
背景技术
OLED显示面板具有厚度薄,功耗低,可弯曲及柔性显示等优势,近年来成为下一代面板显示器的发展趋势。
现有的OLED面板是在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发,有机材料透过金属掩膜条上开孔位置,在基板表面形成有机薄膜,成膜位置需是基板上被指定的发光位置,基板的电流才能有效传入OLED器件发光,所以需要金属掩膜条要有较高的位置精度以及稳定性,并且需与基板紧密贴合,防止有机材料蒸发到错误位置、产生混色现象。
目前主流的屏幕均是设计成矩形,金属掩膜条中的有效区域也需要与其配合设计成矩形,即两端的张力会比较均匀的施加在有效区域。在开发异形屏(圆形、菱形等)的时候,掩膜条的有效区域需设计成异形(圆形、菱形等),有效区域的两侧就会存在圆弧或者顶点,即两端张力在施加时会产生不同的张力效果,有效区域边缘受力不均匀,容易发生有效区域变形、位置偏移、产生褶皱等问题,直接影响了混色良率,这也是目前开发异形屏幕的难点之一。为此,我们提出一种用于异形屏的掩膜条结构,以解决上述背景技术中提到的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于异形屏的掩膜条结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于异形屏的掩膜条结构,包括掩膜条板材,所述掩膜条板材上设有若干组等间距分布的有效区域,所述有效区域为石英光罩,所述有效区域外侧设有包围层,包围层为蚀刻区域,蚀刻区域呈矩形设置,所述有效区域与对应的蚀刻区域之间为缓冲区域,在异形屏的有效区域外,设计一层缓冲区域的包围层,使得整体蚀刻区域仍保持矩形状态,受力均匀性较高。
所述有效区域内均匀分布有若干组贯穿孔,所述缓冲区域内均匀分布有若干组非贯穿孔。由贯穿孔组成的区域为异形屏,而周围有非贯穿孔起到包围层的作用;
所述掩膜条板材采用金属INVAR36材质制成,其厚度为20-100um。
所述非贯穿孔表面为残留层,其厚度为1-3um。
一种用于异形屏的掩膜条结构的制造工艺,具体包括以下步骤:
S1、采用主流材质制造掩膜条板材,目前主流采用金属INVAR36材质,厚度为20-100um,不设限;
S2、设计第一组有效区域的石英光罩,确认有效区域为异形屏;
S3、设计第二组缓冲区域的石英光罩,确认缓冲区域为异形屏四周的包围层,且包围层的蚀刻面积不设限制;
S4、采用第一组有效区域的石英光罩,对掩膜条板材进行正面蚀刻;
S5、采用第一组有效区域的石英光罩,对掩膜条板材进行背面蚀刻,需确认本次双面的蚀刻区域为贯穿孔;
S6、完成异形屏有效区域的贯穿孔工艺,确认实际可蒸镀范围为目标异形屏;
S7、采用第二组缓冲区域的石英光罩,对掩膜条板材进行正面蚀刻;
S8、采用第二组缓冲区域的石英光罩,需进行蚀刻药液量减少调整,对掩膜条板材进行背面蚀刻;
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