[实用新型]气浴装置及温度测量系统有效
申请号: | 202122628910.2 | 申请日: | 2021-10-29 |
公开(公告)号: | CN216118389U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 刘连军;邓皓仁;沈逸豪 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 廖微 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 温度 测量 系统 | ||
1.一种气浴装置,其特征在于,包括:
盒体(100),所述盒体(100)的内部设有气浴腔(101);以及
喷嘴(200),所述喷嘴(200)沿X轴方向延伸,多个所述喷嘴(200)沿Y轴方向依次排列,相邻两个所述喷嘴(200)之间形成沿X轴方向延伸的流道(201),所述喷嘴(200)的上端连通所述气浴腔(101)、下端沿X轴方向设有若干个出风孔(202),所述喷嘴(200)沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的气浴装置,其特征在于,所述喷嘴(200)的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。
3.根据权利要求2所述的气浴装置,其特征在于,各相邻两个所述喷嘴(200)沿Y轴方向的间距均相同。
4.根据权利要求3所述的气浴装置,其特征在于,各所述喷嘴(200)上的所述出风孔(202)均等间距布置。
5.根据权利要求4所述的气浴装置,其特征在于,相邻两个所述喷嘴(200)中的一个的各所述出风孔(202)与另一个的各所述出风孔(202)沿Y轴方向一一对置。
6.根据权利要求5所述的气浴装置,其特征在于,还包括用于将各所述流道(201)的气体抽出至所述盒体(100)以外的抽排管路(300)。
7.根据权利要求6所述的气浴装置,其特征在于,所述抽排管路(300)包括:
管路主体,从所述气浴腔(101)外延伸至所述气浴腔(101)中;以及
抽排管口,其一端连接所述管路主体,另一端延伸至每个所述流道(201)中。
8.根据权利要求7所述的气浴装置,其特征在于,每条所述流道(201)中设有多个所述抽排管口。
9.一种温度测量系统,其特征在于,包括:
权利要求1-8任一项所述的气浴装置;以及
承载台(400),设置在所述气浴装置的下方,所述承载台(400)包括承载台本体,所述承载台本体的上表面嵌设有温度传感器(500)。
10.根据权利要求9所述的温度测量系统,其特征在于,所述温度传感器(500)包括:
传感器外壳(501),所述传感器外壳(501)设有收纳槽,所述收纳槽的顶部设有开口;
盖板(502),密封设置在所述收纳槽的开口,所述盖板(502)与所述承载台本体的上表面平齐;以及
传感器感温包(503),设置在所述盖板(502)的内表面,所述传感器感温包(503)与所述收纳槽之间设有填充物。
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