[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202122637948.6 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216107167U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘政;于书洋;张亚飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 汪莉萍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
坩埚(1)，包括埚体(11)和衔口(12)，所述衔口(12)沿周向外延于所述埚体(11)的开口处；
蒸发舟(2)，包括加热环(21)和两个电极(22)，两个所述电极(22)间隔设置且均连接于所述加热环(21)的外壁，所述埚体(11)穿设于所述加热环(21)内，且所述埚体(11)的底部伸出所述加热环(21)，所述衔口(12)搭接在所述加热环(21)上。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极(22)连接于所述加热环(21)的一端的侧壁上开设有缺口(221)。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极(22)相对的两个侧壁上均开设所述缺口(221)；和/或，
两个所述电极(22)上均设置两个所述缺口(221)。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热环(21)的底端凸出于所述电极(22)设置，且所述电极(22)位于所述加热环(21)朝向所述衔口(12)的一端。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热环(21)为圆环；
所述加热环(21)的内壁贴合于所述埚体(11)的外壁；或，所述埚体(11)与所述加热环(21)过盈配合。
6.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热环(21)的横截面呈圆环状，所述加热环(21)的内径沿轴向递减，且所述加热环(21)底端的内径最小；
所述加热环(21)内壁的底部贴合于所述埚体(11)的外壁；或，所述埚体(11)内壁的底部与所述埚体(11)过盈配合。
7.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热环(21)为圆环，所述加热环(21)底端的内壁上环向设置有凸出部；
所述凸出部的内壁贴合于所述埚体(11)的外壁；或，所述凸出部与所述加热环(21)过盈配合。
8.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，两个所述电极(22)均位于所述加热环(21)朝向所述衔口(12)的一端。
9.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热环(21)与所述电极(22)一体连接。
10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，两个所述电极(22)分别位于所述加热环(21)的相对两侧。
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