[实用新型]一种蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及OLED制造技术领域，公开了一种蒸镀装置。蒸镀装置包括：坩埚，包括埚体和衔口，衔口沿周向外延于埚体的开口处；蒸发舟，包括加热环和两个电极，两个电极间隔设置且均连接于加热环的外壁，埚体穿设于加热环内，且埚体的底部伸出加热环，衔口搭接在加热环上。本实用新型实现埚体的开口处温度较高，与埚体底部之间具有温差，降低了发生堵口问题的可能性，保证了蒸镀的效率以及质量。

技术领域

本实用新型涉及OLED制造技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在OLED生产过程中，通常使用蒸镀装置对OLED材料进行蒸镀。蒸镀装置包括蒸发舟和坩埚，坩埚用于盛装有机材料，蒸发舟用于加热坩埚。现有技术中的蒸镀装置，蒸发舟上开设有用于承载坩埚的凹槽，将坩埚置于蒸发舟的凹槽内，蒸发舟的两端接入电极实现坩埚的加热，从而加热坩埚，实现将有机材料蒸镀在OLED材料上。上述结构设置，坩埚整体均被加热，坩埚的开口处以及坩埚底部之间不存在温差，从而易导致堵口问题的发生。

基于此，亟需一种蒸镀装置用来解决如上提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀装置，以实现埚体的开口处温度较高，与埚体底部之间具有温差，降低了发生堵口问题的可能性，保证了蒸镀的效率以及质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种蒸镀装置，包括：

坩埚，包括埚体和衔口，所述衔口沿周向外延于所述埚体的开口处；

蒸发舟，包括加热环和两个电极，两个所述电极间隔设置且均连接于所述加热环的外壁，所述埚体穿设于所述加热环内，且所述埚体的底部伸出所述加热环，所述衔口搭接在所述加热环上。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述电极连接于所述加热环的一端的侧壁上开设有缺口。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述电极相对的两个侧壁上均开设所述缺口；和/或，

两个所述电极上均设置两个所述缺口。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述加热环的底端凸出于所述电极设置，且所述电极位于所述加热环朝向所述衔口的一端。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述加热环为圆环；

所述加热环的内壁贴合于所述埚体的外壁；或，所述埚体与所述加热环过盈配合。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述加热环的横截面呈圆环状，所述加热环的内径沿轴向递减，且所述加热环底端的内径最小；

所述加热环内壁的底部贴合于所述埚体的外壁；或，所述埚体内壁的底部与所述埚体过盈配合。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述加热环为圆环，所述加热环底端的内壁上环向设置有凸出部；

所述凸出部的内壁贴合于所述埚体的外壁；或，所述凸出部与所述加热环过盈配合。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，两个所述电极均位于所述加热环朝向所述衔口的一端。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，所述加热环与所述电极一体连接。

作为一种蒸镀装置的可选技术方案，两个所述电极分别位于所述加热环的相对两侧。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的蒸镀装置，包括坩埚和蒸发舟。坩埚的埚体底部穿过蒸发舟的加热环，且坩埚的衔口搭接在加热环上，加热环产生的高温通过衔口向埚体传递，使得埚体的开口处温度较高，埚体底部的温度较低，使得埚体开口处与埚体底部之间具有温差，降低了发生堵口问题的可能性，保证了蒸镀的效率以及质量。

附图说明