[实用新型]一种具有数据分析的半导体载荷测试装置

权利要求书

1.一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上固定安装有固定架(10)，所述固定架(10)和工作台(1)之间转动安装有丝杆(3)，所述丝杆(3)的丝杆座上固定连接有连接板(5)，所述连接板(5)的下端通过连接杆(8)安装有检测头(9)，所述工作台(1)上固定安装有底座(11)，所述底座(11)上安装有压力传感器(12)，所述压力传感器(12)上设置有支撑座(13)，所述支撑座(13)上开设有凹槽(14)，所述支撑座(13)上滑动安装有两组L形的支架(15)，所述支架(15)的内壁滑动安装有压板(17)。

2.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述工作台(1)的下端固定安装有电机(2)，所述电机(2)输出轴一端通过联轴器固定连接于丝杆(3)的端部。

3.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述连接板(5)的侧部固定连接有套环(6)，所述固定架(10)和工作台(1)之间固定连接有立柱(7)，所述套环(6)滑动套设于立柱(7)上。

4.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述支撑座(13)上开设有第二滑槽(21)，所述支架(15)的下端固定连接有第二滑块(20)，所述第二滑块(20)滑动安装于第二滑槽(21)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述支架(15)的内壁开设有第一滑槽(19)，所述压板(17)的侧部固定连接有第一滑块(18)，所述第一滑块(18)滑动安装于第一滑槽(19)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述压板(17)上通过轴承转动连接有螺杆(16)，所述支架(15)上开设有螺纹孔，所述螺杆(16)转动安装于螺纹孔的内部。

7.根据权利要求1所述的一种具有数据分析的半导体载荷测试装置，其特征在于：所述固定架(10)的一侧固定安装有显示屏(4)和PLC控制器，PLC控制器分别和显示屏(4)与压力传感器(12)电性连接。