[实用新型]一种间距可调节的拾取机构

说明书

一种间距可调节的拾取机构，本实用新型包括第一升降丝杆，拾取机构通过第一导向轴和第二导向轴将四组拾取组件进行串联连接，拾取机构上设置有第一调节间距步进电机、第二调节间距步进电机和第三调节间距步进电机，并对第一升降丝杆驱动从而调节弹性吸嘴的间距，通过第一位移传感器间距反馈、第二位移传感器间距反馈和第三位移传感器间距反馈分别反馈对应的拾取组件间距尺寸，拾取机构的升降功能由升降伺服电机驱动第一升降丝杆升降，并通过直线轴承导向，本实用新型针对拾取采用真空吸附，在吸附时需要吸嘴能上下浮动，避免吸嘴顶到元件而损坏元件，在转移过程中需要能精确控制升降和旋转的精度，吸嘴可以360°持续旋转。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体是指一种间距可调节的拾取机构。

背景技术

半导体制造行业，在制造过程中，需要经常将半导体元件从一个夹具转移到另一个夹具当中，不同产品的托盘间距不一样，这就需要一种能够自动调节吸嘴间距，间距可以相等也可以不相等的设计方法来实现，这样可适应不同产品托盘范围更广，现有的拾取机构间距是固定的，不能通过选择不同产品生产程序自动调节间距，间距是等间距不能是不同的间距；

例如：生产产品1时托盘间距都是25mm，现在要生产产品2，产品2托盘4组间距分别是30mm，30mm，32mm，4组拾取组件的间距也对应的是30mm，30mm，32mm，现有的方法是快换一组拾取组件上去，或者人工通过螺纹调节间距，快换方式，耗费换夹具时间，不能通过切换生产产品程序自动调节间距，人工通过螺纹调节间距，耗费时间精度不准，不能通过切换生产产品程序自动调节间距，因此并不实用。

实用新型内容

本实用新型为了弥补上述现有技术的不足之处，提供了一种可以调节间距，且能够进行升降、360旋转、吸附、浮动、不绞气管和4组同时取放的拾取机构以应对上述现有技术缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案。

一种间距可调节的拾取机构，包括第一升降丝杆，所述第一升降丝杆、升降伺服电机、第二升降丝杆、压轴承螺母、轴承、孔用弹性挡圈、伺服电机安装座、旋转步进电机安装座、下轴承座、丝杆垫套、旋转步进电机、导向轴、直线轴承、上轴承座、间距调节方螺、深沟球轴承、联轴器、垫套、轴用弹性挡圈、弹性吸嘴和万向气管接头共同组成拾取组件；

所述拾取机构通过第一导向轴和第二导向轴将四组拾取组件进行串联连接，所述拾取机构上设置有第一调节间距步进电机、第二调节间距步进电机和第三调节间距步进电机，并对第一升降丝杆驱动从而调节弹性吸嘴的间距，通过第一位移传感器间距反馈、第二位移传感器间距反馈和第三位移传感器间距反馈分别反馈对应的拾取组件间距尺寸；

所述拾取机构的升降功能由升降伺服电机驱动第一升降丝杆升降，并通过直线轴承导向，所述旋转步进电机安装座的上侧安装有第二升降丝杆、直线轴承和旋转步进电机，所述第二升降丝杆由下轴承座和上轴承座固定，所述旋转步进电机带动弹性吸嘴旋转。

优选的，所述第一升降丝杆的上侧贯穿第二升降丝杆，且第一升降丝杆的下侧与轴承相连接，所述轴承内置于下轴承座的内侧，所述压轴承螺母的底端连接有深沟球轴承和丝杆垫套；

所述旋转步进电机安装座的上侧安装有直线轴承，所述旋转步进电机安装座的右侧端口装设有旋转步进电机，所述旋转步进电机的上端和下端分别连接有万向气管接头和弹性吸嘴，所述旋转步进电机安装座的左侧端口设置有直线轴承，且直线轴承与伺服电机安装座内端相连接，所述直线轴承的底端通过轴用弹性挡圈与下轴承座相连接；

所述升降伺服电机的下端连接有垫套，且通过垫套与联轴器相连接，所述升降伺服电机的底端外部装设有伺服电机安装座，所述伺服电机安装座的内侧端口设置有孔用弹性挡圈和导向轴，所述伺服电机安装座的下端部位镶嵌有上轴承座，且伺服电机安装座上设置有两组间距调节方螺。