[实用新型]铝钛合金声波装置

权利要求书

1.铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。

2.根据权利要求1所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的第三电极膜。

3.根据权利要求2所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述第三电极膜为铝钛合金。

4.根据权利要求2所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的绝缘膜。

5.根据权利要求4所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述绝缘膜包括含有无机绝缘材料的膜，所述绝缘膜包括包含选自聚酰亚胺、环氧树脂、酚醛树脂和酰胺树脂的有机绝缘材料的膜。