[实用新型]铝钛合金声波装置

说明书

铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本实用新型能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。

技术领域

本实用新型涉及声波器件领域，具体涉及铝钛合金声波装置。

背景技术

声波器件被广泛用作带通滤波器和双工器，用于安装在诸如蜂窝电话之类的通信设备中的射频(RF)电路上。已知的弹性波装置包括使用弹性表面波的弹性表面波装置和使用弹性边界波的弹性边界波装置。现有技术存在的问题是当由IDT电极引起的声波振动施加到布线电极时，会发生迁移；此外，当由于高频电力通过布线电极而产生的热量施加到布线电极时，可能会发生迁移，特别是在铝或金的布线电极中更容易发生迁移。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型的目的在于提供铝钛合金声波装置，能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。

本实用新型是这样实现的，本实用新型铝钛合金声波装置所采用的技术方案是：铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。

进一步地，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的第三电极膜。

进一步地，所述第三电极膜为铝钛合金。

进一步地，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的绝缘膜。

进一步地，所述绝缘膜包括含有无机绝缘材料的膜，所述绝缘膜包括包含选自聚酰亚胺、环氧树脂、酚醛树脂和酰胺树脂的有机绝缘材料的膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于，本实用新型提供的铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本实用新型能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的铝钛合金声波装置的准备压电基板后的状态的俯视图。

图2是本实用新型实施例提供的铝钛合金声波装置的如图1所示的线B1-B1截取的截面示意图。

图3是本实用新型实施例提供的铝钛合金声波装置的在压电基板上配置第一电极膜后的状态的俯视图。

图4是本实用新型实施例提供的铝钛合金声波装置的如图3所示的线B2-B2截取的截面示意图。

图5是本实用新型实施例提供的铝钛合金声波装置的配置第二电极膜后的状态的俯视图。