[实用新型]真空样品停放装置

权利要求书

1.一种真空样品停放装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

停放装置，设置在所述真空腔室内，具有至少一个样品停放层，用于停放多个样品；

旋转装置，与所述停放装置连接，用于驱动所述停放装置旋转；以及

升降装置，与所述旋转装置连接，用于驱动所述停放装置升降。

2.根据权利要求1所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述旋转装置包括差分旋转装置。

3.根据权利要求2所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述差分旋转装置包括：

外套筒，所述外套筒包括环状凸缘，所述环状凸缘与所述真空腔室固定连接；以及

旋转轴，设置在所述外套筒内，能相对于所述外套筒旋转，并且与所述停放装置固定连接以驱动所述停放装置旋转。

4.根据权利要求2所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述差分旋转装置包括差分泵浦旋转馈通。

5.根据权利要求1所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述停放装置还包括：

上固定件，所述上固定件设置在叠放的多个所述样品停放层的顶部；

下固定件，所述下固定件设置在叠放的多个所述样品停放层的底部；以及

至少一个固定螺栓，所述螺栓穿设在所述上固定件、所述多个样品停放层和所述下固定件中并将所述多个样品停放层固定在一起。

6.根据权利要求5所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述停放装置还包括：

提放件，所述提放件设置在所述上固定件上，用于移动所述停放装置。

7.根据权利要求3所述的真空样品停放装置，其特征在于，还包括：

真空波纹管，所述真空波纹管穿设在所述旋转轴内，第一端与所述停放装置可拆卸地连接，第二端与所述升降装置连接。

8.根据权利要求7所述的真空样品停放装置，其特征在于，还包括：

固定台，所述固定台与所述停放装置的可拆卸地连接以承载所述停放装置，并且与所述真空波纹管的所述第一端连接。

9.根据权利要求8所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述固定台与所述停放装置的连接方式包括以下中的至少一种：

卡合连接、磁耦合连接或者螺栓连接。

10.根据权利要求7所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述升降装置包括：

升降杆和驱动电机，

所述升降杆的第一端与所述真空波纹管的所述第二端固定连接，第二端与所述驱动电机的输出端连接，以驱动所述停放装置升降。

11.根据权利要求10所述的真空样品停放装置，其特征在于，所述升降装置还包括升降套筒，套设在所述升降杆外，可以用于收纳所述升降杆，

所述差分旋转装置的外套筒和所述升降套筒通过超高真空刀口密封。

12.根据权利要求9所述的真空样品停放装置，其特征在于，还包括：

导向装置，

所述导向装置包括：

至少三个导向杆，所述至少三个导向杆沿周向固定在所述外套筒的所述环状凸缘上，且位于所述真空腔室内与所述停放装置相接触；

导向轴承，设置在所述固定台与所述外套筒之间。