[实用新型]真空样品停放装置

说明书

本公开提供了一种真空样品停放装置，包括：真空腔室；停放装置，设置在真空腔室内，具有至少一个样品停放层，用于停放多个样品；旋转装置，与停放装置连接，用于驱动停放装置旋转；以及升降装置，与旋转装置连接，用于驱动停放装置升降。

技术领域

本公开涉真空样品传递领域，特别涉及一种真空样品停放装置。

背景技术

目前在真空领域、尤其是超高真空领域的样品传递设备中，进样腔室的样品停放台大多数采用一种类似抽屉的垂直多层停放结构。样品停放台与一个升降结构连接，操作者通过升降结构来调整样品停放台的高度，使之达到所需的传样高度，然后再通过机械手进入进样腔室中抓取样品并向实验腔室传递。这种样品停放台一般固定在进样腔室内，不可拆卸，仅能利用一个从进样腔室侧面打开的窗口进行上样操作。而上样操作则需要利用特定工具(如镊子)，将样品手动停放到样品停放位上。

由于进样腔室尺寸以及升降结构的限制，现有样品停放台只有不到10个样品停放位，设备整体生产效率无法提高。样品停放台不可拆卸，上样操作的空间有限，容易增加误操作风险(如样品掉落在进样腔室内)，正因如此，上样操作难度较大耗时较长，造成进样腔室暴露大气时间过长，容易导致进样腔室表面被污染以及进样腔室的极限真空度下降等问题。

实用新型内容

在一些实施例中，本公开提供一种真空样品停放装置，包括：真空腔室；停放装置，设置在真空腔室内，具有至少一个样品停放层，用于停放多个样品；旋转装置，与停放装置连接，用于驱动停放装置旋转；以及升降装置，与旋转装置连接，用于驱动停放装置升降。

在一些实施例中，旋转装置包括差分旋转装置。

在一些实施例中，差分旋转装置包括：外套筒，外套筒包括环状凸缘，凸缘与真空腔室固定连接；以及旋转轴，设置在外套筒内，能相对于外套筒旋转，并且与停放装置固定连接以驱动停放装置旋转。

在一些实施例中，差分旋转装置包括差分泵浦旋转馈通。

在一些实施例中，停放装置还包括：上固定件，上固定设置在叠放的多个样品停放层的顶部；下固定件，下固定件设置在叠放的多个样品停放层的底部；以及至少一个固定螺栓，螺栓穿设在上固定件、多个样品停放层和下固定件中并将多个样品停放层固定在一起，其中多个样品停放层中的至少一个样品停放层用于停放多个样品。

在一些实施例中，停放装置还包括：提放件，提放件设置在上固定件上，用于移动停放装置。

在一些实施例中，真空样品停放装置还包括：真空波纹管，真空波纹管的第一端与停放装置可拆卸地连接，第二端与旋转轴密封连接。

在一些实施例中，真空波纹管穿设在旋转轴内，真空波纹管的第二端的周向外缘与旋转轴的底部周向内缘固定连接且通过真空刀口密封；或者真空波纹管设置在旋转轴上方，真空波纹管的第二端的周向外缘与旋转轴的顶部固定密封连接。

在一些实施例中，真空样品停放装置还包括：固定台，固定台与停放装置可拆卸地连接以承载停放装置，并且与真空波纹管的第一端连接。

在一些实施例中，固定台与停放装置的连接方式包括以下中的至少一种：卡合连接、磁耦合连接或者螺栓连接。

在一些实施例中，升降装置包括：升降杆和驱动电机，升降杆的第一端穿过真空波纹管与固定台连接，第二端与驱动电机的输出端连接，以驱动停放装置升降。

在一些实施例中，升降装置还包括升降套筒，套设在升降杆外，用于容纳升降杆，差分旋转装置的外套筒和升降套筒固定连接。

样品停放装置还包括：导向装置，导向装置包括：至少三个导向杆，至少三个导向杆沿周向固定在外套筒的环状凸缘上，且位于真空腔室内与停放装置相接触；导向轴承，设置在停放装置与升降杆之间。