[实用新型]一种溅射旋转靶材矫直装置有效
| 申请号： | 202122669698.4 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216095714U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏东玖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B21D3/16 | 分类号： | B21D3/16;B21D43/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京佰腾智信知识产权代理事务所(普通合伙) 32509 | 代理人： | 黄杭飞 |
| 地址： | 221200 江苏省徐州市睢宁县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 旋转 矫直 装置 | ||
1.一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的上端面通过滑动板(16)配合滑槽滑动连接有L形板(2)，所述L形板(2)的后端面固定连接有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出轴贯穿L形板(2)的前端面固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)的前端面对称固定连接有安装板，所述安装板的侧壁贯穿转动连接有双向螺纹杆(5)，所述双向螺纹杆(5)的外壁对称螺纹连接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的上端面固定连接有V形板(7)，所述基板(1)的上端面安装有穿直机构(8)，所述基板(1)的上端面固定连接有立板(13)，所述立板(13)的下端面通过伸缩气缸(14)固定连接有压板(15)。
2.根据权利要求1所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述螺纹套(6)与转盘(4)的前端面滑动连接，所述L形板的上端面通过滑槽滑动连接有滑动杆(9)，所述滑动杆(9)的上端面固定连接有放置板(10)，所述基板(1)的下端面固定连接有电动伸缩杆(17)。
3.根据权利要求2所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述电动伸缩杆(17)的后端面与滑动板(16)固定连接，所述L形板(2)的上端面通过支撑板(12)固定连接有弹簧伸缩杆(11)，所述弹簧伸缩杆(11)的前端面与滑动杆(9)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述穿直机构(8)包括圆框(81)、螺纹柱(82)、平板(83)、凸板(84)、限位轮(85)与伸缩杆(86)，所述基板(1)的上端面固定连接有圆框(81)，所述圆框(81)的内腔壁均匀对称螺纹连接有螺纹柱(82)。
5.根据权利要求4所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述螺纹柱(82)贯穿圆框(81)内腔壁的一端转动连接有平板(83)，所述平板(83)的远离螺纹柱(82)的一侧对称固定连接有凸板(84)。
6.根据权利要求5所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述凸板(84)之间通过销轴转动连接有限位轮(85)，所述圆框(81)的内腔壁均匀对称固定连接有伸缩杆(86)，所述伸缩杆(86)与平板(83)固定连接。
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