[实用新型]一种溅射旋转靶材矫直装置

说明书

本实用新型公开了一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板，所述基板的上端面通过滑动板配合滑槽滑动连接有L形板，所述L形板的后端面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿L形板的前端面固定连接有转盘，所述转盘的前端面对称固定连接有安装板，所述螺纹套的上端面固定连接有V形板，所述基板的上端面安装有穿直机构，所述基板的上端面固定连接有立板，所述立板的下端面通过伸缩气缸固定连接有压板，本实用新型涉及旋转靶材矫直装置技术领域。该溅射旋转靶材矫直装置，解决了现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳的问题。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材矫直装置技术领域，具体为一种溅射旋转靶材矫直装置。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。靶材基管的直线度非常重要，不然会导致生产完的靶材无法正常使用，大大增加了工厂成本，浪费人力物力。因此，需要矫直装置对旋转靶材进行矫直。

现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳，达不到预期效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种溅射旋转靶材矫直装置，解决了现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板，所述基板的上端面通过滑动板配合滑槽滑动连接有L形板，所述L形板的后端面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿L形板的前端面固定连接有转盘，所述转盘的前端面对称固定连接有安装板，所述安装板的侧壁贯穿转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的外壁对称螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的上端面固定连接有V形板，所述基板的上端面安装有穿直机构，所述基板的上端面固定连接有立板，所述立板的下端面通过伸缩气缸固定连接有压板。

优选的，所述螺纹套与转盘的前端面滑动连接，所述L形板的上端面通过滑槽滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的上端面固定连接有放置板，所述基板的下端面固定连接有电动伸缩杆。

优选的，所述电动伸缩杆的后端面与滑动板固定连接，所述L形板的上端面通过支撑板固定连接有弹簧伸缩杆，所述弹簧伸缩杆的前端面与滑动杆固定连接。

优选的，所述穿直机构包括圆框、螺纹柱、平板、凸板、限位轮与伸缩杆，所述基板的上端面固定连接有圆框，所述圆框的内腔壁均匀对称螺纹连接有螺纹柱。

优选的，所述螺纹柱贯穿圆框内腔壁的一端转动连接有平板，所述平板的远离螺纹柱的一侧对称固定连接有凸板。

优选的，所述凸板之间通过销轴转动连接有限位轮，所述圆框的内腔壁均匀对称固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆与平板固定连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种溅射旋转靶材矫直装置。具备以下有益效果：